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集成电路ESD保护及其可靠性检测研究

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
符号对照表第12-13页
缩略语对照表第13-17页
第一章 绪论第17-25页
    1.1 研究背景及意义第17-19页
    1.2 ESD设计的基本概念第19-21页
    1.3 ESD研究历史及现状第21-23页
    1.4 本论文主要工作内容第23-24页
    1.5 本论文的结构安排第24-25页
第二章 ESD的基本保护理论第25-35页
    2.1 ESD的放电模式第25-31页
        2.1.1 人体模型(HBM)及其防护等级第25-28页
        2.1.2 机器模型(MM)及其防护等级第28-29页
        2.1.3 器件充电模型(CDM)及其防护等级第29-31页
    2.2 ESD的失效类型和机理第31-32页
        2.2.1 硬失效第31-32页
        2.2.2 ESD的潜在性失效第32页
    2.3 ESD潜在性失效检测方法第32-33页
    2.4 本章小结第33-35页
第三章 ESD器件的TLP测试原理与连续多脉冲瞬态仿真测试方法第35-47页
    3.1 ESD器件的测试第35页
    3.2 TLP测试原理第35-36页
    3.3 静电释放ESD器件的连续多脉冲瞬态仿真测试方法第36-45页
        3.3.1 SENTUROUS仿真工具及其仿真流程第37-38页
        3.3.2 静电释放ESD器件的连续多脉冲瞬态仿真测试方法的步骤与优点第38-39页
        3.3.3 静电释放ESD器件的连续多脉冲瞬态仿真测试方法的仿真应用第39-45页
    3.4 本章小结第45-47页
第四章 ESD器件的分析与设计第47-67页
    4.1 二极管的分析与设计第47-50页
    4.2 MOSFET的分析与设计第50-55页
    4.3 基于硅控整流(SCR)保护器件的分析与设计第55-66页
        4.3.1 SCR器件基本机理分析第55-56页
        4.3.2 SCR几个重要参数简单理论分析第56-59页
        4.3.3 基于SCR结构的新型静电保护器件设计第59-66页
    4.4 本章小结第66-67页
第五章 ESD模块可靠性检测静电测试单元设计第67-83页
    5.1 ESD模块可靠性检测静电测试单元的含义第67-68页
    5.2 ESD模块可靠性检测静电测试单元的设计方案第68-69页
    5.3 ESD模块可靠性检测静电测试单元的设计与仿真分析第69-80页
        5.3.1 漏电流提取模块第69-72页
        5.3.2 电压差模块第72-76页
        5.3.3 比较器模块第76-79页
        5.3.4 ESD模块可靠性检测静电测试单元物理版图设计与验证第79-80页
    5.4 本章小结第80-83页
第六章 总结与展望第83-85页
    6.1 工作总结第83-84页
    6.2 工作展望第84-85页
参考文献第85-89页
致谢第89-91页
作者简介第91-92页

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