NIKON SCANNER同期精度控制方法的研究与实现
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 尼康光刻机的发展状况 | 第8-10页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第10-12页 |
| 2 曝光方式与曝光系统 | 第12-27页 |
| 2.1 步进式曝光 | 第12页 |
| 2.2 扫描式曝光 | 第12-13页 |
| 2.3 扫描光刻机的动态曝光系统 | 第13-21页 |
| 2.3.1 坐标系统 | 第13-15页 |
| 2.3.2 动态曝光工作原理 | 第15-17页 |
| 2.3.3 扫描方式 | 第17-18页 |
| 2.3.4 步进方式 | 第18-21页 |
| 2.4 扫描光刻机的特点与关键技术 | 第21-26页 |
| 2.4.1 特点 | 第21-22页 |
| 2.4.2 动态曝光造成的芯片图形畸变 | 第22页 |
| 2.4.3 光照强度和失真 | 第22-23页 |
| 2.4.4 准分子激光曝光 | 第23-26页 |
| 2.5 本章小节 | 第26-27页 |
| 3 同步控制系统的同期精度评估方法 | 第27-54页 |
| 3.1 同步控制系统与原理 | 第27-30页 |
| 3.1.1 需同步控制的组件 | 第27-28页 |
| 3.1.2 同步控制原理 | 第28-30页 |
| 3.2 同步控制方法 | 第30-42页 |
| 3.2.1 同步控制过程 | 第30-31页 |
| 3.2.2 共同标志使用示例 | 第31-33页 |
| 3.2.3 载台的同步控制 | 第33页 |
| 3.2.4 掩膜板遮帘的同步控制 | 第33-35页 |
| 3.2.5 动态自动对焦 | 第35-39页 |
| 3.2.6 防震台的同步控制 | 第39-42页 |
| 3.2.7 准分子激光系统的同步控制 | 第42页 |
| 3.3 同期精度评估与分析 | 第42-45页 |
| 3.3.1 同期精度评估方法 | 第42-43页 |
| 3.3.2 同期精度恶化因素与改善措施 | 第43-45页 |
| 3.4 同期精度测试与分析实验 | 第45-53页 |
| 3.4.1 误差值 | 第46-47页 |
| 3.4.2 平均值 | 第47-50页 |
| 3.4.3 MSD(移动标准差) | 第50-51页 |
| 3.4.4 FFT(快速傅立叶变换) | 第51-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 4 某扫描式光刻机同期精度的控制与实现 | 第54-68页 |
| 4.1 问题现象 | 第54-55页 |
| 4.2 同期精度的问题分析与控制 | 第55-67页 |
| 4.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 5 总结与展望 | 第68-69页 |
| 5.1 本文工作结论 | 第68页 |
| 5.2 展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
