| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·MEMS概述 | 第9-10页 |
| ·MEMS的概念 | 第9页 |
| ·MEMS的发展历程 | 第9-10页 |
| ·MEMS技术的应用领域 | 第10页 |
| ·MEMS谐振器 | 第10-15页 |
| ·MEMS谐振器概述 | 第10-11页 |
| ·MEMS谐振器激励与检测方式 | 第11-13页 |
| ·MEMS谐振器的性能参数 | 第13-15页 |
| ·MEMS谐振器闭环自激谐振频率测试系统的研究意义 | 第15-16页 |
| ·论文的主要内容 | 第16-17页 |
| 第2章 热激励微悬臂梁谐振器的开环特性测试研究 | 第17-24页 |
| ·微谐振器的制作流程 | 第17-18页 |
| ·微悬臂梁谐振器的谐振特性分析 | 第18-19页 |
| ·电热激励微悬臂梁谐振器的谐振频率 | 第18页 |
| ·电热激励微悬臂梁谐振器的品质因数 | 第18-19页 |
| ·微谐振器的开环特性测试 | 第19-23页 |
| ·激励信号与输出信号间的频率关系分析 | 第19-20页 |
| ·开环特性测试结果 | 第20-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 热激励微谐振器闭环自激谐振频率测试系统研究 | 第24-40页 |
| ·微谐振器闭环自激谐振频率测试系统概述 | 第24-25页 |
| ·微谐振器闭环自激谐振频率测试系统总体设计 | 第25-26页 |
| ·前置放大电路设计 | 第26-36页 |
| ·恒时延带通滤波器 | 第26-30页 |
| ·移相器 | 第30-32页 |
| ·幅值调整电路 | 第32页 |
| ·波形变换器 | 第32-34页 |
| ·分频器 | 第34-36页 |
| ·锁相环(PLL)电路实现方案 | 第36-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 热激励微谐振器闭环自激谐振频率测试 | 第40-43页 |
| ·微谐振器闭环自激谐振频率的闭环测试结果 | 第40-41页 |
| ·闭环自激/检测电路稳定性分析 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第5章 MAX038实现无相差频率跟踪功能锁相环电路的优化设计 | 第43-50页 |
| ·锁相环的工作原理 | 第43-45页 |
| ·具有无相差频率跟踪功能的锁相环电路优化设计 | 第45-47页 |
| ·锁相环的优化设计方案 | 第45-46页 |
| ·环路滤波器元件参数选取 | 第46-47页 |
| ·锁相环电路的稳态相差分析 | 第47-48页 |
| ·锁相环实现无相差频率跟踪功能的实验结果 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第6章 总结和展望 | 第50-52页 |
| ·总结 | 第50-51页 |
| ·展望 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 附录: 作者在读期间发表的学术论文、发明专利及参加的科研项目 | 第57页 |
