子孔径拼接检测非球面的算法研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第10-11页 |
| ·非球面检测研究现状 | 第11-15页 |
| ·论文的主要研究工作 | 第15-18页 |
| 第2章 子孔径拼接检测基本原理 | 第18-32页 |
| ·子孔径拼接检测的基本原理 | 第18-19页 |
| ·子孔径拼接分类 | 第19-22页 |
| ·子孔径形状分类 | 第19-22页 |
| ·圆形子孔径 | 第19-20页 |
| ·环形子孔径 | 第20-21页 |
| ·矩形子孔径 | 第21-22页 |
| ·拼接模式分类 | 第22页 |
| ·子孔径拼接检测拼接算法原理 | 第22-29页 |
| ·子孔径拼接算法原理 | 第22-25页 |
| ·两两拼接基本原理 | 第22-24页 |
| ·误差均化算法原理 | 第24-25页 |
| ·坐标变换和综合优化算法 | 第25-28页 |
| ·拼接算法的对比 | 第28页 |
| ·自由补偿量和关联补偿量 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-32页 |
| 第3章 子孔径拼接干涉检测算法 | 第32-42页 |
| ·拼接算法预处理 | 第32-35页 |
| ·子孔径波面拟合预处理 | 第32-33页 |
| ·子孔径定位变换预处理 | 第33-35页 |
| ·拼接算法去倾斜处理 | 第35-37页 |
| ·最小二乘去倾斜法 | 第35-36页 |
| ·Zernike 多项式去倾斜法 | 第36-37页 |
| ·拼接算法程序设计 | 第37-40页 |
| ·拼接之前处理 | 第37-38页 |
| ·拼接精度分析 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 子孔径拼接检测非球面仿真分析 | 第42-54页 |
| ·非球面的拟合 | 第42-45页 |
| ·非球面的几种表达方式 | 第42-45页 |
| ·旋转对称非球面通用表达式 | 第42-43页 |
| ·常用二次曲面表达式 | 第43-44页 |
| ·Forbes 多项式表示非球面 | 第44-45页 |
| ·非球面的 Zernike 多项式拟合 | 第45页 |
| ·子孔径拼接检测非球面仿真分析 | 第45-51页 |
| ·重叠系数 | 第47-48页 |
| ·平移误差 | 第48-49页 |
| ·倾斜误差 | 第49-50页 |
| ·离焦系数和随机误差 | 第50-51页 |
| ·仿真小结 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第5章 子孔径拼接干涉检测实验与误差分析 | 第54-64页 |
| ·子孔径拼接检测平面实验验证 | 第54-56页 |
| ·子孔径拼接检测非球面试验验证 | 第56-58页 |
| ·子孔径拼接干涉检测的误差分析 | 第58-63页 |
| ·参考波面误差 | 第58-59页 |
| ·PZT 非线性误差 | 第59-60页 |
| ·CCD 非线性误差 | 第60-61页 |
| ·环境噪声 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第6章 总结与展望 | 第64-68页 |
| ·本文工作总结 | 第64-66页 |
| ·有待继续研究的内容 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第70页 |
