| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| ·课题研究的背景、目的和意义 | 第11-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-20页 |
| ·确定性光学加工技术 | 第15-18页 |
| ·离子束抛光技术发展介绍 | 第18-20页 |
| ·论文研究主要内容 | 第20-23页 |
| 第二章 波前误差离子束修形技术原理和仿真 | 第23-43页 |
| ·波前误差修形镜面补偿面形确定方法 | 第24-26页 |
| ·波前误差补偿面形的计算 | 第24页 |
| ·波前误差补偿面形的特点 | 第24-25页 |
| ·波前误差补偿面形的拟合方法 | 第25-26页 |
| ·离子束去除函数高斯特性研究 | 第26-30页 |
| ·离子束加工路径分析 | 第30-31页 |
| ·驻留时间算法 | 第31-36页 |
| ·线性方程组法 | 第32-33页 |
| ·卷积迭代法 | 第33页 |
| ·Tikhonov 正则化法与 RL 卷积迭代算法仿真 | 第33-36页 |
| ·卷积迭代算法中边缘延拓优化 | 第36-43页 |
| ·常规延拓方法分析 | 第37-38页 |
| ·边缘延拓优化方法 | 第38-39页 |
| ·仿真分析 | 第39-43页 |
| 第三章 波前误差离子束修形工艺研究 | 第43-59页 |
| ·大相对口径光学元件波前误差修形方法研究 | 第43-49页 |
| ·离子束去除函数与入射角度关系模型 | 第43-46页 |
| ·基于角度的去除函数补偿 | 第46页 |
| ·去除函数补偿前后仿真分析 | 第46-49页 |
| ·去除函数修形能力分析 | 第49-54页 |
| ·面形滤波优化方法 | 第54-59页 |
| ·面形滤波原理 | 第54-55页 |
| ·面形滤波优化仿真 | 第55-59页 |
| 第四章 波前误差离子束修形实验 | 第59-75页 |
| ·不同束径离子束去除函数实验 | 第59-61页 |
| ·波前误差低阶面形离子束修形实验 | 第61-68页 |
| ·波前误差高阶面形离子束修形实验 | 第68-75页 |
| 第五章 总结与展望 | 第75-78页 |
| ·研究内容总结 | 第75-76页 |
| ·论文的创新 | 第76-77页 |
| ·论文的不足和展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第81页 |