红外与太赫兹波衍射器件的设计与制作

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
1 绪论	第9-13页
·研究背景	第9-11页
·课题来源和论文主要工作	第11-13页
2 衍射理论基础	第13-21页
·瑞利索末菲衍射理论	第13-14页
·角谱衍射理论	第14-17页
·相位恢复算法	第17-21页
3 器件制作原理	第21-25页
·工艺流程	第21-22页
·硅的湿法腐蚀	第22-23页
·硅的干法腐蚀	第23-24页
·版图设计与制作	第24-25页
4 软件实现	第25-34页
·衍射仿真与相位恢复	第25-28页
·孔径计算及版图生成	第28-31页
·软件编写与功能	第31-34页
5 软件的应用	第34-58页
·运用瑞利索末菲衍射理论仿真聚焦器件	第34-37页
·运用角谱衍射理论仿真远场成像	第37-44页
·版图计算	第44-47页
·波前仿真	第47-53页
·相位分区计算	第53-58页
6 太赫兹器件的仿真、制作与测试	第58-83页
·器件仿真	第58-60页
·器件的湿法制作	第60-63页
·性能的测试与分析	第63-83页
7 总结	第83-84页
致谢	第84-85页
参考文献	第85-89页
附录1 攻读硕士学位期间发表论文	第89页