| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-15页 |
| 1 绪论 | 第15-25页 |
| ·信息敏感技术是信息化社会发展的技术基础之一 | 第15页 |
| ·SAW 多参数传感器研究的目的和意义 | 第15-17页 |
| ·SAW 多参数传感器国内外现状及发展趋势 | 第17-23页 |
| ·SAW 多参数传感器的国外现状及发展趋势 | 第17-22页 |
| ·SAW 多参数传感器国内研究现状及发展趋势 | 第22-23页 |
| ·SAW 多参数传感器的应用 | 第23-24页 |
| ·论文的内容安排 | 第24-25页 |
| 2 声表面波传感器理论基础 | 第25-42页 |
| ·前言 | 第25页 |
| ·声表面波理论基础 | 第25-32页 |
| ·SAW 的运动特性描述 | 第25-26页 |
| ·SAW 的解及特性分析 | 第26-32页 |
| ·SAW 传感器的扰动理论 | 第32-36页 |
| ·SAW 传感器的一般扰动解 | 第32-34页 |
| ·SAW 传感器的近似扰动解 | 第34-36页 |
| ·SAW 器件的性能分析基础 | 第36-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 3 声表面波多参数传感器系统分析模型建立 | 第42-63页 |
| ·前言 | 第42页 |
| ·SAW 传感器的信息敏感及信号处理模型 | 第42-50页 |
| ·SAW 传感器信息敏感流程的唯象描述 | 第42-44页 |
| ·SAW 传感器的信息敏感模型 | 第44-46页 |
| ·SAW 传感器信号处理模型 | 第46-49页 |
| ·SAW 传感器的性能 | 第49-50页 |
| ·SAW 传感器的多参数信息敏感和信号处理模型 | 第50-61页 |
| ·SAW 传感器的多参数信息敏感 | 第50-51页 |
| ·SAW 传感器的多参数信息敏感模型 | 第51-53页 |
| ·SAW 多参数传感器的信号模型 | 第53-57页 |
| ·矩阵[K ]~(-1) 对角化的技术 | 第57-61页 |
| ·SAW 多参数化学传感器分析模型 | 第61-62页 |
| ·小结 | 第62-63页 |
| 4 声表面波化学气体传感器系统及关键技术 | 第63-100页 |
| ·前言 | 第63页 |
| ·声表面波化学气体传感器系统设计 | 第63-72页 |
| ·系统的设计约束 | 第63-64页 |
| ·系统的总体设计 | 第64-72页 |
| ·声表面波化学气体传感器系统关键技术 | 第72-94页 |
| ·SAW 多参数传感器敏感器件及阵列 | 第72-75页 |
| ·SAW 振荡器的设计 | 第75-80页 |
| ·化学吸附膜设计及涂覆工艺 | 第80-92页 |
| ·系统的结构设计及封装 | 第92-94页 |
| ·信号检测与数据处理 | 第94-99页 |
| ·差频信号的正交化处理 | 第94-96页 |
| ·信号的检测 | 第96-98页 |
| ·数据处理 | 第98-99页 |
| ·小结 | 第99-100页 |
| 5 声表面波化学气体传感器系统试验结果及分析 | 第100-135页 |
| ·前言 | 第100页 |
| ·声表面波化学气体传感器系统 | 第100-102页 |
| ·分系统 | 第100-102页 |
| ·系统总体 | 第102页 |
| ·声表面波化学气体传感器试验设计 | 第102-105页 |
| ·基础部件性能试验设计 | 第102-103页 |
| ·单参数性能试验设计 | 第103-104页 |
| ·综合性能试验设计 | 第104-105页 |
| ·声表面波化学气体传感器系统试验结果及分析 | 第105-133页 |
| ·SAW 敏感器件参数测试结果及分析 | 第105-106页 |
| ·SAW 振荡器的试验结果及分析 | 第106-108页 |
| ·化学吸附膜覆膜试验结果及分析 | 第108-113页 |
| ·温度(T)性能试验结果及分析 | 第113-121页 |
| ·G 系列微量化学气体敏感性能试验结果及分析 | 第121-126页 |
| ·系统综合性能实验及分析 | 第126-133页 |
| ·小结 | 第133-135页 |
| 6 结束语 | 第135-138页 |
| 致谢 | 第138-139页 |
| 参考文献 | 第139-145页 |
| 附录 | 第145-150页 |
| A 作者在攻读博士学位期间发表的论文目录 | 第145-146页 |
| B 作者在攻读博士学位期间参加的科研项目及获奖情况 | 第146-147页 |
| C 获奖证书 | 第147-150页 |