| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 引言 | 第5-6页 |
| 第一章 光学基础 | 第6-18页 |
| 第一节 光的散射 | 第6-12页 |
| 第二节 光的折射与反射 | 第12-14页 |
| 第三节 晶圆表面微粒散射 | 第14-18页 |
| 第二章 无图案晶圆表面缺陷检测系统 | 第18-32页 |
| 第一节 各子系统组成 | 第18-24页 |
| 第二节 检测结果的量化方式 | 第24-27页 |
| 第三节 无图案晶圆表面缺陷的种类 | 第27-32页 |
| 第三章 几种材料薄膜上散射特性及缺陷检测能力测试 | 第32-47页 |
| 第一节 最小极限检测尺度 | 第32-37页 |
| 第二节 缺陷尺寸量化关联曲线 | 第37-43页 |
| 第三节 检测稳定性分析 | 第43-47页 |
| 第四章 通过薄雾信号对纳米级缺陷检测能力的研究 | 第47-56页 |
| 第一节 薄雾信号综述 | 第47-48页 |
| 第二节 软件对薄雾信号的处理分析能力 | 第48-50页 |
| 第三节 薄雾信号应用的可行性试验 | 第50-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |