| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 引言 | 第6-7页 |
| 第一章 基础理论 | 第7-16页 |
| ·辐射基本定律 | 第7-15页 |
| ·基尔霍夫定律、比辐射率 | 第7-8页 |
| ·辐射体的分类 | 第8-10页 |
| ·普朗克定律 | 第10-11页 |
| ·斯蒂芬-波耳兹曼定律 | 第11页 |
| ·维恩位移定律 | 第11页 |
| ·微分辐亮度 | 第11-12页 |
| ·黑体型辐射源 | 第12-15页 |
| ·本课题研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 红外微辐射源的设计 | 第16-22页 |
| ·光源材料和结构设计 | 第16-21页 |
| ·材料选择 | 第16-17页 |
| ·结构设计,几种结构总结 | 第17-21页 |
| ·光源工艺流程设计 | 第21-22页 |
| 第三章 MEMS红外光源结构设计模拟和工艺设计模拟 | 第22-35页 |
| ·MEMS专业模拟软件Coventorware 2006简介 | 第22-24页 |
| ·基于Coventorware2006的工艺和结构模拟 | 第24-30页 |
| ·温度分布 | 第25-26页 |
| ·支撑梁宽度的影响 | 第26-27页 |
| ·引线长度的影响 | 第27页 |
| ·电流密度IM density | 第27-28页 |
| ·上升时间,下降时间 | 第28-30页 |
| ·电极形状和工艺的设计 | 第30-34页 |
| ·实际制作的几种电极形状 | 第30-31页 |
| ·工艺流程设计 | 第31-34页 |
| ·工艺过程及实物图片 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 光源性能分析 | 第35-40页 |
| ·性能参数分析 | 第35-40页 |
| ·辐射光谱 | 第35-36页 |
| ·辐射功率 | 第36-38页 |
| ·光源调制特性 | 第38-40页 |
| 第五章 总结 | 第40-41页 |
| 主要参考文献 | 第41-42页 |
| 致谢 | 第42-43页 |
