| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 压力传感器的研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 本文研究意义 | 第11-12页 |
| 1.4 本文研究主要内容 | 第12-14页 |
| 第2章 新型真空压力传感器结构设计 | 第14-25页 |
| 2.1 真空压力传感器工作原理与参数 | 第14-15页 |
| 2.1.1 真空压力传感器工作原理 | 第14-15页 |
| 2.1.2 真空压力传感器主要参数 | 第15页 |
| 2.2 汽车制动系统简介 | 第15-16页 |
| 2.3 真空压力传感器在汽车制动系统中的应用 | 第16-18页 |
| 2.4 新型真空压力传感器结构设计 | 第18-23页 |
| 2.4.1 现有真空压力传感器的结构参数分析 | 第18-20页 |
| 2.4.2 新型真空压力传感器的构形设计 | 第20-22页 |
| 2.4.3 新型真空压力传感器芯片安装夹具设计 | 第22-23页 |
| 2.4.4 新型真空压力传感器内部结构设计 | 第23页 |
| 2.5 本章小结 | 第23-25页 |
| 第3章 新型真空压力传感器电路与工艺设计 | 第25-39页 |
| 3.1 新型真空压力传感器芯片选择 | 第25-29页 |
| 3.1.1 真空压力传感器输出形式 | 第25-26页 |
| 3.1.2 真空压力传感器芯片选择 | 第26-28页 |
| 3.1.3 MPXV6115V6U芯片特性 | 第28-29页 |
| 3.2 MPXV6115V6U芯片信号处理电路设计 | 第29-33页 |
| 3.2.1 集成电路设计 | 第29-30页 |
| 3.2.2 信号处理电路设计 | 第30-33页 |
| 3.3 传感器的材料选择 | 第33-34页 |
| 3.4 压力敏感芯片封装设计 | 第34-37页 |
| 3.4.1 不锈钢隔离膜片的设计 | 第34-36页 |
| 3.4.2 芯片封装设计 | 第36-37页 |
| 3.5 传感器的加工与组装 | 第37页 |
| 3.6 传感器早期失效和性能降低原因分析 | 第37-38页 |
| 3.7 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 新型真空压力传感器性能测试 | 第39-48页 |
| 4.1 测试平台 | 第39-41页 |
| 4.1.1 测试平台的搭建 | 第39-41页 |
| 4.1.2 测试设备的作用及参数 | 第41页 |
| 4.2 测试原理与测试方法 | 第41-42页 |
| 4.3 功能测试 | 第42-47页 |
| 4.3.1 功能测试系统工作原理 | 第42-43页 |
| 4.3.2 功能测试设备及样品测试 | 第43-45页 |
| 4.3.3 功能测试数据及分析 | 第45-46页 |
| 4.3.4 真空密封性能测试 | 第46-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 结论与展望 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 附录 攻读学位期间所发表的学术论文 | 第53页 |