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甚高频激发的容性耦合Ar/O2等离子体的激光诱导诊断研究

中文摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 序言第10-23页
    1.1 等离子体概述第10-12页
    1.2 等离子体应用第12页
    1.3 容性耦合电负性等离子体的诊断研究进展第12-15页
    1.4 电负性等离子体的激光诱导光致剥离诊断近况第15-21页
    1.5 本文研究的意义和主要内容第21-23页
第二章 探针辅助激光诱导光致剥离诊断原理第23-34页
    2.1 激光诱导光致剥离技术第24-31页
        2.1.1 探针辅助激光诱导光致剥离诊断技术原理第24-26页
        2.1.2 光致剥离电子的检测第26-30页
        2.1.3 负离子密度的测量第30-31页
    2.2 Langmuir探针诊断数据的处理方法第31-34页
第三章 40.68MHz激发的容性耦合Ar/O_2等离子体的实验装置与实验安排第34-38页
    3.1 40.68MHz激发的容性耦合Ar/O_2等离子体的实验装置第34-36页
    3.2 40.68MHz激发的容性耦合Ar/O_2等离子体的实验安排第36-38页
第四章 40.68MHz激发的容性耦合Ar/O_2等离子体的Langmuir探针诊断结果与讨论第38-48页
    4.1 容性耦合Ar/O_2等离子体的Langmuir探针的I-V特性曲线第38-39页
    4.2 容性耦合Ar/O_2等离子体的电子能量几率分布函数第39-41页
    4.3 容性耦合Ar/O_2等离子体的空间电位第41-43页
    4.4 容性耦合Ar/O_2等离子体的电子密度与电子温度第43-48页
第五章 40.68MHz激发的容性耦合Ar/O_2等离子体的光致剥离诊断结果与讨论第48-76页
    5.1 激光诱导负离子剥离的等离子体动力学演变第48-49页
    5.2 探针辅助激光诱导光致负离子剥离的电信号解析第49-57页
    5.3 容性耦合Ar/O_2等离子体的η随功率、气压的变化第57-61页
    5.4 容性耦合Ar/O_2等离子体的空间电位第61-66页
    5.5 容性耦合Ar/O_2等离子体的电负度第66-71页
    5.6 容性耦合Ar/O_2等离子体的负离子密度第71-76页
第六章 总结第76-78页
参考文献第78-86页
攻读硕士期间公开发表的论文第86-87页
致谢第87-88页

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