| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 序言 | 第10-23页 |
| 1.1 等离子体概述 | 第10-12页 |
| 1.2 等离子体应用 | 第12页 |
| 1.3 容性耦合电负性等离子体的诊断研究进展 | 第12-15页 |
| 1.4 电负性等离子体的激光诱导光致剥离诊断近况 | 第15-21页 |
| 1.5 本文研究的意义和主要内容 | 第21-23页 |
| 第二章 探针辅助激光诱导光致剥离诊断原理 | 第23-34页 |
| 2.1 激光诱导光致剥离技术 | 第24-31页 |
| 2.1.1 探针辅助激光诱导光致剥离诊断技术原理 | 第24-26页 |
| 2.1.2 光致剥离电子的检测 | 第26-30页 |
| 2.1.3 负离子密度的测量 | 第30-31页 |
| 2.2 Langmuir探针诊断数据的处理方法 | 第31-34页 |
| 第三章 40.68MHz激发的容性耦合Ar/O_2等离子体的实验装置与实验安排 | 第34-38页 |
| 3.1 40.68MHz激发的容性耦合Ar/O_2等离子体的实验装置 | 第34-36页 |
| 3.2 40.68MHz激发的容性耦合Ar/O_2等离子体的实验安排 | 第36-38页 |
| 第四章 40.68MHz激发的容性耦合Ar/O_2等离子体的Langmuir探针诊断结果与讨论 | 第38-48页 |
| 4.1 容性耦合Ar/O_2等离子体的Langmuir探针的I-V特性曲线 | 第38-39页 |
| 4.2 容性耦合Ar/O_2等离子体的电子能量几率分布函数 | 第39-41页 |
| 4.3 容性耦合Ar/O_2等离子体的空间电位 | 第41-43页 |
| 4.4 容性耦合Ar/O_2等离子体的电子密度与电子温度 | 第43-48页 |
| 第五章 40.68MHz激发的容性耦合Ar/O_2等离子体的光致剥离诊断结果与讨论 | 第48-76页 |
| 5.1 激光诱导负离子剥离的等离子体动力学演变 | 第48-49页 |
| 5.2 探针辅助激光诱导光致负离子剥离的电信号解析 | 第49-57页 |
| 5.3 容性耦合Ar/O_2等离子体的η随功率、气压的变化 | 第57-61页 |
| 5.4 容性耦合Ar/O_2等离子体的空间电位 | 第61-66页 |
| 5.5 容性耦合Ar/O_2等离子体的电负度 | 第66-71页 |
| 5.6 容性耦合Ar/O_2等离子体的负离子密度 | 第71-76页 |
| 第六章 总结 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-86页 |
| 攻读硕士期间公开发表的论文 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
