CMOS太赫兹双频探测器及线阵性能研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 太赫兹技术及应用 | 第9-11页 |
| 1.2 CMOS太赫兹探测器研究进展 | 第11-12页 |
| 1.3 CMOS太赫兹探双频探测器发展现状 | 第12-13页 |
| 1.4 探测器线阵串扰研究进展 | 第13-14页 |
| 1.5 本文主要内容 | 第14-15页 |
| 参考文献 | 第15-18页 |
| 第二章 CMOS太赫兹探测器 | 第18-34页 |
| 2.1 CMOS太赫兹探测器工作原理 | 第18-20页 |
| 2.2 CMOS太赫兹天线 | 第20-25页 |
| 2.2.1 CMOS太赫兹电波天线 | 第20-23页 |
| 2.2.2 CMOS太赫兹光学天线 | 第23-25页 |
| 2.3 CMOS太赫兹探测器制备 | 第25-28页 |
| 2.3.1 0.18μm CMOS工艺 | 第25-27页 |
| 2.3.2 CMOS太赫兹探测器制备 | 第27-28页 |
| 2.4 CMOS探测器的表征方法 | 第28-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 参考文献 | 第32-34页 |
| 第三章 CMOS太赫兹探双频探测器设计 | 第34-52页 |
| 3.1 新型双频探测器设计 | 第34-35页 |
| 3.2 双频天线仿真 | 第35-42页 |
| 3.2.1 270GHz性能仿真 | 第37-39页 |
| 3.2.2 650GHz性能仿真 | 第39-42页 |
| 3.3 新型CMOS双频太赫兹探测器制备 | 第42-43页 |
| 3.4 双频太赫兹探测器芯片性能表征 | 第43-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-52页 |
| 第四章 1X16探测器线阵性能研究 | 第52-64页 |
| 4.1 探测器线阵设计及制备 | 第52-54页 |
| 4.2 探测器线阵频率响应及串扰表征 | 第54-58页 |
| 4.2.1 线阵探测器性能表征方法 | 第54-55页 |
| 4.2.2 线阵探测器性能表征 | 第55-58页 |
| 4.3 线阵串扰成因 | 第58-61页 |
| 4.3.1 隔离层及衬底对串扰的影响 | 第58-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 总结 | 第64页 |
| 5.2 展望 | 第64-66页 |
| 硕士期间成果 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
