基于沸石薄膜的QCM湿度传感器感湿特性研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 湿度传感器简介 | 第10-16页 |
| 1.2.1 湿度的表示方法 | 第10-11页 |
| 1.2.2 分类与原理 | 第11-13页 |
| 1.2.3 QCM 湿度传感器的基本原理 | 第13-15页 |
| 1.2.4 本课题的研究意义 | 第15-16页 |
| 1.3 研究现状及未来发展趋势 | 第16-21页 |
| 1.3.1 湿度传感器的最新进展 | 第16-19页 |
| 1.3.2 QCM 湿度传感器的研究现状 | 第19-21页 |
| 1.4 本课题的主要内容 | 第21-22页 |
| 第2章 实验设备与原理 | 第22-29页 |
| 2.1 实验原料及设备 | 第22页 |
| 2.2 制备方法 | 第22-26页 |
| 2.2.1 湿敏材料的制备方法 | 第22-24页 |
| 2.2.2 晶片的清洗 | 第24页 |
| 2.2.3 湿敏薄膜的制作 | 第24-26页 |
| 2.3 材料表征技术 | 第26-27页 |
| 2.3.1 XRD 图谱 | 第26页 |
| 2.3.2 形貌分析与元素分析 | 第26-27页 |
| 2.3.3 红外光谱分析法 | 第27页 |
| 2.3.4 氮气吸附和脱附 | 第27页 |
| 2.4 传感器的感湿特性测试 | 第27-29页 |
| 第3章 沸石的合成研究 | 第29-42页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 NaA 型沸石制备研究 | 第29-36页 |
| 3.2.1 硅源的选择对产物的影响 | 第30-32页 |
| 3.2.2 硅铝比对产物的影响 | 第32-34页 |
| 3.2.3 反应温度对产物的影响 | 第34-35页 |
| 3.2.4 反应时间对产物的影响 | 第35-36页 |
| 3.3 其他表征手段 | 第36-39页 |
| 3.3.1 红外分析 | 第36-37页 |
| 3.3.2 粒度分析 | 第37页 |
| 3.3.3 沸石的吸附/脱附曲线 | 第37-39页 |
| 3.4 NaA 型沸石的阳离子改性 | 第39-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 传感器性能测试与分析 | 第42-59页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 湿度发生平台 | 第42-44页 |
| 4.3 基于 NaA 沸石的感湿特性研究 | 第44-54页 |
| 4.3.1 光片测试 | 第44-45页 |
| 4.3.2 感湿特征曲线 | 第45-47页 |
| 4.3.3 重复性 | 第47-48页 |
| 4.3.4 稳定性 | 第48-50页 |
| 4.3.5 湿滞分析 | 第50-52页 |
| 4.3.6 温度对测试的影响 | 第52-54页 |
| 4.4 基于 KA 沸石的感湿特性研究及对比分析 | 第54-58页 |
| 4.4.1 感湿特征曲线 | 第54-55页 |
| 4.4.2 重复性与湿滞曲线 | 第55-57页 |
| 4.4.3 对比分析 | 第57-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
