| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 研究领域及应用价值 | 第8-10页 |
| 1.1.1 研究领域 | 第8-9页 |
| 1.1.2 应用价值 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究概况 | 第10-11页 |
| 1.3 神经网络模型及国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.4 本文主要研究工作 | 第14-15页 |
| 2 晶圆清洗机(JK751)过滤器工作原理 | 第15-18页 |
| 2.1 晶圆清洗机简介 | 第15-16页 |
| 2.2 过滤器的数学模型 | 第16-17页 |
| 2.3 本章小结 | 第17-18页 |
| 3 基于模糊神经网络的晶圆清洗机过滤器流量预测建模 | 第18-31页 |
| 3.1 模糊神经网络 | 第18页 |
| 3.2 基于模糊神经网络的建模和学习算法 | 第18-21页 |
| 3.3 过滤器流量原始数据的获得及去噪处理 | 第21-23页 |
| 3.4 系统输入量的选择 | 第23-24页 |
| 3.5 基于模糊神经网络的过滤器流量的预测研究 | 第24-30页 |
| 3.6 本章小结 | 第30-31页 |
| 4 基于改进型模糊神经网络的建模方法 | 第31-45页 |
| 4.1 改进型模糊神经网络建模 | 第31-33页 |
| 4.1.1 模糊模型的描述 | 第31页 |
| 4.1.2 模糊神经网络结构 | 第31-33页 |
| 4.2 基于目标函数的模糊聚类分析 | 第33页 |
| 4.3 改进模糊聚类的模糊神经网络辨识 | 第33-38页 |
| 4.4 基于改进型模糊神经网络的过滤器流量预测研究 | 第38-44页 |
| 4.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 5 实物实践平台的搭建 | 第45-51页 |
| 5.1 应用设计要求 | 第45页 |
| 5.2 JK751型晶圆清洗机过滤器更换规程 | 第45-46页 |
| 5.3 实物实践平台的应用流程 | 第46-47页 |
| 5.4 实践平台 | 第47-50页 |
| 5.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |