| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 概述 | 第9-18页 |
| ·选题背景和目的 | 第9-10页 |
| ·国内外文献综述 | 第10-16页 |
| ·利用有限元软件ANSYS进行优化设计 | 第10-15页 |
| ·对压阻微压力传感器方位的优化 | 第15-16页 |
| ·本课题主要内容及意义 | 第16-18页 |
| ·主要内容 | 第16页 |
| ·课题的意义 | 第16-18页 |
| 2 机械式微压力传感器的优化设计研究 | 第18-33页 |
| ·机械式微压力传感器的响应分析 | 第18-21页 |
| ·机械式微压力传感器薄膜的有关知识 | 第18-20页 |
| ·机械式微压力传感器的公式推导 | 第20-21页 |
| ·微压力传感器的优化设计 | 第21-32页 |
| ·优化设计模型 | 第21-24页 |
| ·目标函数与各个变量的关系 | 第24-30页 |
| ·模型求解 | 第30-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 3 压阻系数与方位的关系和最值 | 第33-38页 |
| ·纵向压阻系数与方位的关系和最值 | 第33-34页 |
| ·横向压阻系数的最值 | 第34-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 4 机械式微压力传感器的稳健设计 | 第38-58页 |
| ·稳健设计模型的基本理论 | 第38-41页 |
| ·稳健设计的概念 | 第38-39页 |
| ·容差稳健设计的基本理论 | 第39页 |
| ·容差的计算 | 第39-40页 |
| ·方差的计算 | 第40-41页 |
| ·薄板的静力弯曲 | 第41-43页 |
| ·圆膜片等中心距微压力传感器主平面上参数的稳健设计模型及求解 | 第43-49页 |
| ·机械式微压力传感器的响应分析 | 第44-45页 |
| ·机械式微压力传感器稳健数学模型 | 第45-48页 |
| ·机械式微压力传感器参数的稳健设计模型求解 | 第48-49页 |
| ·圆膜片优化解基础上机械式微压力传感器参数的稳健设计模型及求解 | 第49-54页 |
| ·机械式微压力传感器的响应分析 | 第49-50页 |
| ·机械式微压力传感器稳健数学模型 | 第50-53页 |
| ·机械式微压力传感器参数的稳健设计模型求解 | 第53-54页 |
| ·两种稳健设计的对比 | 第54-55页 |
| ·软件设计和稳健算法研究 | 第55-56页 |
| ·机微压力传感器优化和稳健设计流程 | 第55页 |
| ·稳健设计算法研究 | 第55-56页 |
| ·小结 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 在学研究成果 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |