| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-13页 |
| 第二章 文献综述 | 第13-29页 |
| ·NiO结构与性质 | 第13-16页 |
| ·NiO的结构 | 第13-14页 |
| ·NiO的电学性质 | 第14-15页 |
| ·NiO薄膜的气敏性质 | 第15-16页 |
| ·NiO薄膜的电致变色性能 | 第16页 |
| ·ZnO结构与性质 | 第16-21页 |
| ·ZnO的结构 | 第17-19页 |
| ·ZnO的光电性质 | 第19-20页 |
| ·ZnO的其他性质 | 第20-21页 |
| ·薄膜制备方法 | 第21-23页 |
| ·磁控溅射 | 第21-22页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第22页 |
| ·金属有机化学气相沉积 | 第22页 |
| ·分子束外延技术 | 第22-23页 |
| ·NiO/ZnO基异质结研究进展 | 第23-25页 |
| ·日盲区紫外探测器研究进展 | 第25-27页 |
| ·选题依据和研究内容 | 第27-29页 |
| 第三章 实验设备及原理、实验过程及性能表征 | 第29-35页 |
| ·实验设备及原理 | 第29-32页 |
| ·实验设备 | 第29-30页 |
| ·射频磁控溅射原理 | 第30-32页 |
| ·实验过程 | 第32-34页 |
| ·靶材的制备 | 第32-33页 |
| ·衬底及其清洗 | 第33页 |
| ·薄膜的制备过程 | 第33-34页 |
| ·性能表征 | 第34-35页 |
| 第四章 NiO和ZnO薄膜的制备与性能研究 | 第35-59页 |
| ·p型NiO薄膜的制备与研究 | 第35-53页 |
| ·溅射功率对NiO薄膜特性的影响 | 第35-39页 |
| ·溅射功率对NiO薄膜表面形貌的影响 | 第35-36页 |
| ·溅射功率对NiO薄膜结构性能的影响 | 第36-37页 |
| ·溅射功率对NiO薄膜电学性能的影响 | 第37-38页 |
| ·溅射功率对NiO薄膜光学性能的影响 | 第38-39页 |
| ·衬底温度对NiO薄膜特性的影响 | 第39-44页 |
| ·衬底温度对NiO薄膜表面形貌的影响 | 第39-40页 |
| ·衬底温度对NiO薄膜结构性能的影响 | 第40-41页 |
| ·衬底温度对NiO薄膜电学性能的影响 | 第41-43页 |
| ·衬底温度对NiO薄膜光学性能的影响 | 第43-44页 |
| ·沉积压强对NiO薄膜特性的影响 | 第44-47页 |
| ·沉积压强对NiO薄膜表面形貌的影响 | 第45页 |
| ·沉积压强对NiO薄膜结构的影响 | 第45-47页 |
| ·沉积压强对NiO薄膜电学性能的影响 | 第47页 |
| ·生长气氛中氧氩比对NiO薄膜特性的影响 | 第47-52页 |
| ·氧氩比对NiO薄膜表面形貌的影响 | 第48-49页 |
| ·氧氩比对NiO薄膜结构的影响 | 第49页 |
| ·氧氩比对NiO薄膜电学性能的影响 | 第49-52页 |
| ·氧氩比对NiO薄膜光学性能的影响 | 第52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| ·n型ZnO薄膜的制备与研究 | 第53-59页 |
| ·溅射功率对ZnO薄膜特性的影响 | 第53-55页 |
| ·衬底温度ZnO薄膜特性的影响 | 第55-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 第五章 NiO/ZnO基异质结的能带结构及电学性能研究 | 第59-68页 |
| ·NiO/ZnO异质结能带带阶的测量与能带图的研究 | 第59-65页 |
| ·利用XPS测试异质结能带带阶的原理 | 第60-61页 |
| ·实验样品的制备与XPS分析 | 第61-64页 |
| ·NiO/ZnO异质结能带图 | 第64-65页 |
| ·小结 | 第65页 |
| ·NiO/ZnO基异质结的制备与I-V性能表征 | 第65-68页 |
| ·NiO/ZnMgO/ZnO结构异质结的制备 | 第65-66页 |
| ·NiO/ZnMgO/ZnO结构异质结的I-V性能测试 | 第66-68页 |
| 第六章 Mg_xNi_(1-x)O固溶体薄膜的制备及紫外探测性能研究 | 第68-80页 |
| ·溅射功率对MgNiO薄膜特性的影响 | 第68-69页 |
| ·溅射功率对MgNiO薄膜表面形貌的影响 | 第68页 |
| ·溅射功率对MgNiO薄膜结构性能的影响 | 第68-69页 |
| ·衬底温度对MgNiO薄膜特性的影响 | 第69-71页 |
| ·衬底温度对MgNiO薄膜表面形貌的影响 | 第69-70页 |
| ·衬底温度对MgNiO薄膜结构性能的影响 | 第70-71页 |
| ·Mg组分对MgNiO薄膜特性的影响 | 第71-74页 |
| ·Mg组分对MgNiO薄膜表面形貌的影响 | 第71-72页 |
| ·Mg组分对MgNiO薄膜结构性能的影响 | 第72页 |
| ·Mg组分对MgNiO薄膜光学禁带宽度的调节 | 第72-74页 |
| ·MgNiO薄膜的XPS分析 | 第74-76页 |
| ·MgNiO薄膜禁带宽度与Mg含量关系曲线拟合 | 第76-77页 |
| ·MgNiO薄膜电学性能测试 | 第77-78页 |
| ·小结 | 第78-80页 |
| 第七章 结论 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 个人简历 | 第92-93页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果 | 第93页 |
