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过渡金属掺杂ZnO薄膜的制备及其性能研究

摘要第1-6页
Abstract第6-7页
目录第7-10页
第一章 绪论第10-26页
   ·引言第10-11页
   ·稀磁半导体材料第11-17页
     ·DMSs基本概念第11-12页
     ·DMSs研究进展第12-13页
     ·DMSs的物理机制第13-15页
       ·RKKY理论第13-14页
       ·平均场理论第14页
       ·双交换理论第14页
       ·BMP理论第14-15页
     ·DMSs应用前景第15-17页
   ·ZnO基稀磁半导体材料第17-21页
     ·ZnO的基本性质第17-19页
     ·ZnO基DMSs研究进展第19-21页
       ·Mn掺杂ZnO第19-20页
       ·Co掺杂ZnO第20页
       ·Fe掺杂ZnO第20-21页
     ·ZnO基DMSs存在的问题第21页
   ·非极性ZnO薄膜第21-22页
     ·非极性ZnO的概念第21-22页
     ·非极性ZnO获得途径第22页
   ·ZnO基薄膜的制备方法与技术第22-25页
   ·课题意义与研究内容第25-26页
第二章 样品制备与表征手段第26-32页
   ·Fe、Fe-Ga共掺杂ZnO基稀磁半导体样品制备第26-28页
     ·实验设备第26页
     ·样品制备过程第26-28页
   ·非极性ZnO薄膜样品制备第28-30页
     ·实验设备及原理第28-29页
     ·样品制备过程第29-30页
   ·样品表征手段第30-32页
第三章 Fe掺杂ZnO基稀磁半导体第32-47页
   ·Ar/O_2气氛下Zn_(1-x)Fe_xO(x=0.02)薄膜性能的研究第32-34页
     ·退火对Zn_(1-x)Fe_xO(x=0.02)薄膜形貌的影响第32-33页
     ·退火对Zn_(1-x)Fe_xO(x=0.02)薄膜磁性的影响第33-34页
   ·纯Ar条件下Zn_(1-x)Fe_xO薄膜的结构与性能研究第34-45页
     ·衬底温度与溅射功率的影响第35-37页
     ·溅射压强的影响第37-38页
     ·Fe掺杂浓度对薄膜结构与形貌的影响第38-40页
     ·成分分析第40-44页
     ·Fe掺杂浓度对薄膜电学性能与磁性性能的影响第44-45页
   ·本章小结第45-47页
第四章 Fe-Ga共掺杂ZnO基稀磁半导体第47-56页
   ·Ga掺杂对Zn_(1-x)Fe_xO薄膜结构与形貌的影响第47-48页
     ·Ga掺杂Zn_(1-x)Fe_xO薄膜的制备第47页
     ·Ga掺杂对Zn_(1-x)Fe_xO薄膜结构与形貌的影响第47-48页
   ·溅射压强对Ga掺杂的Zn_(1-x)Fe_xO薄膜的影响第48-53页
     ·结构与形貌分析第49-51页
     ·成分分析第51-53页
   ·Ga掺杂对Zn_(1-x)Fe_xO薄膜电学以及磁学性能的影响第53-55页
     ·Ga掺杂对薄膜电学性能影响第53-54页
     ·Ga掺杂对薄膜磁学性能影响第54-55页
   ·本章小结第55-56页
第五章 非极性ZnO薄膜第56-70页
   ·ZnCoO薄膜的生长取向及其性能研究第56-62页
     ·衬底对薄膜生长取向的影响第57-58页
     ·薄膜表明形貌分析第58-59页
     ·薄膜光学性能分析第59-60页
     ·薄膜电学与磁学性能分析第60-61页
     ·小结第61-62页
   ·Mn掺杂ZnO生长取向与性能的研究第62-70页
     ·Zn(Mn,Li)O薄膜的生长取向及其性能研究第62-66页
       ·结构与形貌分析第62-64页
       ·光学性能分析第64-65页
       ·磁性性能分析第65-66页
     ·Zn(Mn,Na)O薄膜的生长取向及其性能研究第66-69页
       ·结构与形貌分析第66-67页
       ·光学性能分析第67-69页
       ·磁学性能分析第69页
     ·小结第69-70页
第六章 结论与展望第70-72页
参考文献第72-80页
致谢第80-81页
个人简历第81-82页
攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果第82页

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