| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 前言 | 第9-23页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·ZnO 的晶体结构 | 第10-11页 |
| ·ZnO 的性质与应用 | 第11-17页 |
| ·溶胶-凝胶法制备ZnO 薄膜的研究现状 | 第17-21页 |
| ·论文的主要内容 | 第21-23页 |
| 2 溶胶-凝胶法制备ZnO 薄膜的原理、步骤和表征手段 | 第23-39页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的机理 | 第23-24页 |
| ·制备ZnO 薄膜的反应机理 | 第24-25页 |
| ·溶胶-凝胶薄膜涂覆方法 | 第25-27页 |
| ·溶胶-凝胶法制备ZnO 薄膜的实验过程 | 第27-32页 |
| ·影响ZnO 薄膜质量的因素 | 第32-35页 |
| ·实验中薄膜的表征手段 | 第35-39页 |
| 3 ZnO 薄膜制备的正交实验设计 | 第39-57页 |
| ·正交实验设计的相关知识 | 第39-42页 |
| ·正交表的选取与实验方案的确定 | 第42-44页 |
| ·载玻片衬底上ZnO 薄膜的正交实验结果与分析 | 第44-50页 |
| ·硅衬底上ZnO 薄膜的正交实验结果与分析 | 第50-54页 |
| ·ZnO 薄膜c 轴择优取向的形成 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 4 工艺参数对ZnO 薄膜性质的影响 | 第57-82页 |
| ·前热处理温度对ZnO 薄膜性质的影响 | 第57-62页 |
| ·退火温度对ZnO 薄膜性质的影响 | 第62-71页 |
| ·退火保温时间对ZnO 薄膜性质的影响 | 第71-73页 |
| ·涂膜层数对ZnO 薄膜性质的影响 | 第73-76页 |
| ·陈化时间对ZnO 薄膜性质的影响 | 第76-77页 |
| ·退火气氛对ZnO 薄膜光电性质的影响 | 第77-79页 |
| ·ZnO 薄膜的厚度 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 5 总结 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-90页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第90页 |