溅射薄膜式压力传感器可靠性研究
| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·课题的背景与意义 | 第11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-16页 |
| ·可靠性技术发展现状 | 第11-13页 |
| ·溅射薄膜式压力传感器可靠性研究现状 | 第13-16页 |
| ·研究思路与内容安排 | 第16-18页 |
| ·问题的提出 | 第16页 |
| ·研究思路 | 第16-17页 |
| ·内容安排 | 第17-18页 |
| 第二章 溅射薄膜式压力传感器可靠性综合分析 | 第18-33页 |
| ·溅射薄膜式压力传感器工作原理 | 第18-19页 |
| ·溅射薄膜式压力传感器制造工艺流程 | 第19-21页 |
| ·溅射式传感器可靠性综合评价 | 第21-32页 |
| ·传统可靠性分析方法的局限性 | 第21页 |
| ·模糊综合评价法 | 第21-23页 |
| ·溅射式压力传感器可靠性的模糊评价 | 第23-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 弹性膜片结构设计 | 第33-41页 |
| ·概述 | 第33页 |
| ·弹性膜片参数设计 | 第33-38页 |
| ·材料选取 | 第33-34页 |
| ·几何参数设计 | 第34-38页 |
| ·基于有限元分析的弹性膜片设计参数验证 | 第38-39页 |
| ·电桥压敏电阻布局设计 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 敏感芯片绝缘性能的工艺研究 | 第41-53页 |
| ·概述 | 第41页 |
| ·常压下的绝缘性能正交试验 | 第41-49页 |
| ·正交试验设计 | 第42-43页 |
| ·数据分析 | 第43-48页 |
| ·验证试验 | 第48-49页 |
| ·优化工艺参数 | 第49页 |
| ·压力输入状态下的绝缘性能研究 | 第49-52页 |
| ·增强弹性体薄膜的粘附力 | 第50页 |
| ·提高绝缘层耐压强度 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 溅射薄膜式压力传感器静电防护设计 | 第53-62页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·传感器超差故障分析 | 第53-57页 |
| ·故障树分析 | 第53-54页 |
| ·故障排除 | 第54-55页 |
| ·故障定位 | 第55-56页 |
| ·故障复现 | 第56-57页 |
| ·静电导致传感器超差的机理分析 | 第57-59页 |
| ·提高传感器静电防护能力的措施 | 第59-61页 |
| ·静电的危害 | 第59-60页 |
| ·提高传感器静电防护能力的措施 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 结束语 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第66页 |
