一种永磁弹射掩模台的轨迹规划和运动控制研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 研究问题的提出 | 第11-17页 |
| 1.2.1 掩模台发展现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 永磁弹射掩模台的提出 | 第14-15页 |
| 1.2.3 永磁弹射掩模台面临的挑战 | 第15-17页 |
| 1.3 掩模台轨迹规划研究现状 | 第17-20页 |
| 1.4 掩模台运动控制研究现状 | 第20-24页 |
| 1.4.1 反馈控制 | 第20-22页 |
| 1.4.2 前馈控制 | 第22-24页 |
| 1.5 论文研究内容 | 第24-26页 |
| 第二章 永磁弹射掩模台系统 | 第26-35页 |
| 2.1 机械结构 | 第26-32页 |
| 2.1.1 驱动子系统 | 第26-30页 |
| 2.1.2 其他关键子系统 | 第30-32页 |
| 2.2 控制硬件平台构成 | 第32-34页 |
| 2.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 永磁弹射掩模台轨迹规划 | 第35-52页 |
| 3.1 引言 | 第35-36页 |
| 3.2 运动特征分析 | 第36-40页 |
| 3.2.1 运动分解 | 第36-37页 |
| 3.2.2 非弹射区和弹射区的运动特征 | 第37-40页 |
| 3.3 基于S形轨迹的非弹射区轨迹规划 | 第40-45页 |
| 3.4 基于多项式轨迹的弹射区轨迹规划与优化 | 第45-51页 |
| 3.4.1 弹射时间固定 | 第47-48页 |
| 3.4.2 弹射时间优化 | 第48-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 永磁弹射掩模台运动控制 | 第52-67页 |
| 4.1 引言 | 第52-53页 |
| 4.2 模型辨识 | 第53-56页 |
| 4.3 变增益反馈控制器 | 第56-63页 |
| 4.3.1 线性反馈环节设计 | 第58-60页 |
| 4.3.2 变增益环节设计 | 第60-62页 |
| 4.3.3 稳定性分析 | 第62-63页 |
| 4.4 前馈力切换的加速度前馈控制器 | 第63-66页 |
| 4.4.1 加速度前馈环节设计 | 第64页 |
| 4.4.2 切换环节设计 | 第64-66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 仿真与实验验证 | 第67-80页 |
| 5.1 轨迹规划仿真 | 第67-71页 |
| 5.2 运动控制仿真 | 第71-77页 |
| 5.3 综合实验验证 | 第77-79页 |
| 5.3.1 运动控制系统 | 第77-78页 |
| 5.3.2 轨迹跟踪控制实验 | 第78-79页 |
| 5.4 本章小结 | 第79-80页 |
| 第六章 结论与展望 | 第80-82页 |
| 6.1 论文的主要结论 | 第80-81页 |
| 6.2 后续研究展望 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-86页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第86-87页 |
