光刻机主动隔振系统设计与测试分析
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 隔振技术发展历史及现状 | 第11-19页 |
| 1.2.1 被动隔振发展现状 | 第12-15页 |
| 1.2.2 半主动隔振发展现状 | 第15-16页 |
| 1.2.3 主动隔振发展现状 | 第16-19页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 光刻机主动隔振总体架构 | 第20-31页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 光刻机隔振分析 | 第20-21页 |
| 2.3 光刻机主动隔振系统总体架构 | 第21-22页 |
| 2.4 光刻机主动隔振系统工作原理 | 第22-26页 |
| 2.4.1 空气弹簧的原理 | 第23-24页 |
| 2.4.2 天棚阻尼 | 第24-25页 |
| 2.4.3 摆杠机构 | 第25-26页 |
| 2.5 光刻机主动隔振执行机构 | 第26-27页 |
| 2.5.1 气动机构 | 第26-27页 |
| 2.5.2 音圈电机 | 第27页 |
| 2.6 传感器 | 第27-29页 |
| 2.6.1 位置传感器 | 第28-29页 |
| 2.6.2 振动传感器 | 第29页 |
| 2.7 本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 主动隔振系统模型建立和控制 | 第31-48页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 主动隔振系统模型建立 | 第31-42页 |
| 3.2.1 主动隔振系统模型假设 | 第31页 |
| 3.2.2 基板运动平台的运动方程 | 第31-42页 |
| 3.3 主动隔振解耦控制设计 | 第42-47页 |
| 3.3.1 主动隔振解耦 | 第42页 |
| 3.3.2 控制策略 | 第42-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 主动隔振控制卡设计 | 第48-61页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 主动隔振控制卡硬件总体规划 | 第48-49页 |
| 4.3 主动隔振控制硬件设计 | 第49-54页 |
| 4.3.1 电源模块 | 第49页 |
| 4.3.2 时钟模块 | 第49-50页 |
| 4.3.3 FPGA 模块 | 第50-51页 |
| 4.3.4 AD 模块 | 第51-52页 |
| 4.3.5 DA 模块 | 第52-53页 |
| 4.3.6 光耦模块 | 第53-54页 |
| 4.3.7 通信模块 | 第54页 |
| 4.4 主动隔振控制卡软核设计 | 第54-60页 |
| 4.4.1 DA 接口的设计 | 第55-57页 |
| 4.4.2 AD 接口的设计 | 第57-59页 |
| 4.4.3 DA 接口和 AD 接口控制核的加载 | 第59-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 光刻机振动测试分析软件设计 | 第61-73页 |
| 5.1 引言 | 第61页 |
| 5.2 光刻机振动测试分析 | 第61-62页 |
| 5.3 虚拟仪器 LabVIEW | 第62-63页 |
| 5.4 光刻机振动测试分析软件设计 | 第63-70页 |
| 5.4.1 数据的传输通信 | 第64-66页 |
| 5.4.2 数据的保存 | 第66页 |
| 5.4.3 数据的频域分析 | 第66-67页 |
| 5.4.4 数据信号的时频分析 | 第67-68页 |
| 5.4.5 用户管理界面 | 第68-69页 |
| 5.4.6 主界面的编辑 | 第69-70页 |
| 5.5 光刻机振动初步测试验证 | 第70-72页 |
| 5.6 本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
