| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·MEMS 简介 | 第8-10页 |
| ·MEMS 加工技术 | 第10-12页 |
| ·表面微机械加工技术 | 第10-11页 |
| ·体微机械加工技术 | 第11-12页 |
| ·LIGA 技术 | 第12页 |
| ·MEMS CAD | 第12-13页 |
| ·课题研究的背景与意义 | 第13页 |
| ·论文的主要工作 | 第13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 第二章 MEMS加工工艺中的沉积技术 | 第14-29页 |
| ·物理气相沉积(PVD) | 第14-15页 |
| ·真空蒸镀 | 第15页 |
| ·溅射镀膜(Sputtering) | 第15页 |
| ·离子镀 | 第15页 |
| ·化学气相沉积(CVD) | 第15-20页 |
| ·常压沉积(APCVD) | 第16-17页 |
| ·金属有机化合物化学气相沉积(Metal Organic Compound Chemical Vapor Deposition, MOCVD) | 第17页 |
| ·等离子增强化学气相沉积(PECVD) | 第17-18页 |
| ·低压化学气相沉积（LPCVD） | 第18-20页 |
| ·LPCVD 模型 | 第20-25页 |
| ·一维平面沉积速率模型 | 第21-22页 |
| ·二维通用模型 | 第22-23页 |
| ·二参量模型 | 第23-24页 |
| ·三维模型 | 第24-25页 |
| ·算法研究 | 第25-28页 |
| ·线算法 | 第25-26页 |
| ·Level Set Method(水平集方法) | 第26页 |
| ·元胞算法 | 第26-28页 |
| ·一维元胞自动机原理 | 第26-28页 |
| ·二维元胞自动机原理 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 改进模型与算法 | 第29-46页 |
| ·一维模型 | 第29-34页 |
| ·二维模型提出 | 第34-39页 |
| ·算法改进 | 第39-44页 |
| ·线算法 | 第39-42页 |
| ·法向角计算 | 第40-41页 |
| ·θ_1 、θ_2 角的计算 | 第41-42页 |
| ·Von Neumann 算法 | 第42-44页 |
| ·法向角计算 | 第43-44页 |
| ·θ_1 、θ_2 角的计算 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 软件模拟结果和实验结果的对比分析 | 第46-54页 |
| ·模拟软件 | 第46-47页 |
| ·线算法模拟 | 第47-48页 |
| ·元胞算法模拟 | 第48-49页 |
| ·模拟结果和实验结果的对比 | 第49-51页 |
| ·集成工艺 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第五章 总结和展望 | 第54-56页 |
| 总结 | 第54页 |
| 展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 作者简介 | 第60页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第60页 |