极紫外光刻机工件台动力学建模及仿真
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题背景和研究意义 | 第8-9页 |
| ·国内外高精度工件台发展现状 | 第9-11页 |
| ·光刻机工件台的技术难点 | 第11-12页 |
| ·工件台总体结构方案 | 第11页 |
| ·工件台材料选择 | 第11页 |
| ·直线驱动技术 | 第11-12页 |
| ·直线导向技术 | 第12页 |
| ·光刻机工件台动态结构分析 | 第12-13页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 工件台关键技术及结构设计 | 第14-25页 |
| ·气浮支撑技术工作原理 | 第14-19页 |
| ·真空平衡气足数学模型 | 第15-18页 |
| ·预加载技术 | 第18-19页 |
| ·直线驱动技术 | 第19页 |
| ·工件台方案 | 第19-20页 |
| ·两级气浮扫描工件台结构设计 | 第20-24页 |
| ·微动台精度补偿分析 | 第21-23页 |
| ·微动台结构设计 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 工件台静力学及动力学分析 | 第25-39页 |
| ·有限元法基本思想 | 第25页 |
| ·工件台静力学分析 | 第25-31页 |
| ·紧固件静力学分析 | 第26-29页 |
| ·工件台工况分析 | 第29-31页 |
| ·工件台模态分析 | 第31-34页 |
| ·工件台等效动力学模型 | 第31-32页 |
| ·模态分析结果 | 第32-34页 |
| ·工件台瞬态分析 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 工件台结构优化设计 | 第39-50页 |
| ·基于ANSYS的结构拓扑优化 | 第39-43页 |
| ·ANSYS中拓扑优化相关理论及应用 | 第40页 |
| ·选择单元类型 | 第40-41页 |
| ·定义并控制载荷工况 | 第41页 |
| ·定义并控制优化过程 | 第41-42页 |
| ·拓扑优化结果分析 | 第42-43页 |
| ·工件台参数化建模及仿真分析 | 第43-44页 |
| ·工件台参数化建模 | 第43-44页 |
| ·仿真结果分析 | 第44页 |
| ·动态优化设计 | 第44-48页 |
| ·灵敏度分析 | 第45页 |
| ·承载微动台优化设计变量 | 第45-46页 |
| ·承载微动台优化设计目标函数 | 第46页 |
| ·承载微动台优化设计约束条件 | 第46页 |
| ·承载微动台动力优化设计数学模型 | 第46-47页 |
| ·ANSYS优化分析 | 第47-48页 |
| ·优化后承载微动台动态响应分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
