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GaAs MESFET和HEMT器件的HPM电热损伤效应研究

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-8页
符号对照表第12-14页
缩略语对照表第14-17页
第一章 绪论第17-25页
    1.1 研究背景和意义第17-18页
    1.2 国内外研究现状第18-23页
    1.3 论文主要研究内容及安排第23-25页
第二章 HPM效应理论及有限元仿真概述第25-33页
    2.1 高功率微波技术第25-30页
        2.1.2 高功率微波源及产生技术第25-28页
        2.1.3 高功率微波的发射及传输第28-29页
        2.1.4 高功率微波效应第29-30页
    2.2 有限元仿真第30-32页
        2.2.1 有限元仿真理论第30-31页
        2.2.2 有限元仿真软件第31页
        2.2.3 有限元计算方法在半导体模块的应用第31-32页
    2.3 本章小结第32-33页
第三章 MESFET和HEMT器件HPM损伤模型构建第33-51页
    3.1 MESFET和HEMT器件的HPM仿真模型构建第33-45页
        3.1.1 有限元建模第33-35页
        3.1.2 多物理场耦合第35-37页
        3.1.3 数值计算模型第37-44页
        3.1.4 HPM信号模型第44-45页
    3.2 器件的HPM传热模型构建第45-49页
        3.2.1 COMSOL中固体传热模型第46页
        3.2.2 热传导方程的线性化第46-47页
        3.2.3 等效热路模型第47-49页
    3.3 本章小结第49-51页
第四章 GaAs MESFET器件的HPM电热损伤效应研究第51-67页
    4.1 GaAs MESFET器件结构和工作原理第51-53页
    4.2 脉冲注入的瞬态响应分析第53-55页
        4.2.1 单周期信号下器件内部热变化第53-54页
        4.2.2 多周期信号下器件内部热变化第54-55页
    4.3 HPM作用下的MESFET的响应第55-59页
        4.3.1 HPM作用下的MESFET内部电学特性分析第56-57页
        4.3.2 HPM作用下的MESFET内部温度分析第57-59页
    4.4 信号参数对HPM电热效应的影响第59-63页
        4.4.1 电压幅值对HPM效应的影响第59-60页
        4.4.2 脉宽和重频对HPM效应的影响第60-63页
    4.5 器件参数对HPM电热效应的影响第63-66页
        4.5.1 器件栅长对HPM电热效应的影响第64-65页
        4.5.2 器件掺杂对HPM电热效应的影响第65-66页
    4.6 本章小结第66-67页
第五章 GaAs HEMT器件的高功率微波损伤效应机理第67-83页
    5.1 GaAs HEMT器件结构和工作原理第67-70页
    5.2 HPM作用下仿真结果分析第70-73页
        5.2.1 HPM作用下的HEMT内部温度变化第71-72页
        5.2.2 HPM作用下的HEMT器件损伤机理分析第72-73页
    5.3 GaAs HEMT的HPM效应实验第73-74页
        5.3.1 HPM效应试验方案第73-74页
        5.3.2 HPM效应试验结果分析第74页
    5.4 器件的抗HPM优化第74-82页
        5.4.1 HEMT器件的热抗和热阻第75页
        5.4.2 HEMT热阻的数学解析第75-80页
        5.4.3 器件抗HPM结构优化方法及验证第80-82页
    5.5 本章小结第82-83页
第六章 总结与展望第83-85页
    6.1 全文总结第83-84页
    6.2 研究展望第84-85页
参考文献第85-91页
致谢第91-93页
作者简介第93-94页

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