| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 图清单 | 第8-9页 |
| 表清单 | 第9-10页 |
| 注释表 | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| ·课题背景 | 第11-12页 |
| ·测量光学综合孔径望远镜子镜间位移检测的传感器的研究现状 | 第12-15页 |
| ·课题研究的内容 | 第15-16页 |
| 第二章 电感传感器的理论基础 | 第16-24页 |
| ·电感位移传感器概述 | 第16-19页 |
| ·自感式传感器 | 第16-18页 |
| ·互感式传感器 | 第18-19页 |
| ·差动式电感位移传感器的输入、输出特性 | 第19-22页 |
| ·差动式电感位移传感器的特性 | 第22-23页 |
| ·静态特性 | 第22-23页 |
| ·动态特性 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 电感传感器结构设计 | 第24-40页 |
| ·传感器的探头设计 | 第24-26页 |
| ·平面PCB电感 | 第24-25页 |
| ·传感器结构设计 | 第25-26页 |
| ·电感线圈互感的计算 | 第26-33页 |
| ·多边形逼近圆形计算方法 | 第26-29页 |
| ·经验公式法 | 第29-33页 |
| ·两种方法比较 | 第33页 |
| ·线圈参数优化 | 第33-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 电感传感器位移检测系统的设计 | 第40-52页 |
| ·电感传感器位移检测系统的整体框架 | 第40页 |
| ·信号发生模块 | 第40-42页 |
| ·信号发生器 | 第40-41页 |
| ·功率放大器 | 第41-42页 |
| ·测量电路模块 | 第42-49页 |
| ·信号通道 | 第43-46页 |
| ·锁定放大器设计 | 第46-49页 |
| ·数据采集模块及步进电机 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 传感器调试及实验结果 | 第52-58页 |
| ·实验系统 | 第52-54页 |
| ·传感器的静态标定 | 第54-56页 |
| ·本章小节 | 第56-58页 |
| 第六章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·全文总结 | 第58页 |
| ·展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及科研成果清单 | 第64页 |