AlN薄膜纵向导热与双坐标自检微阵列气流传感器的研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第15-33页 |
| 1.1 研究背景 | 第15-16页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第16-29页 |
| 1.2.1 气流传感器研究进展 | 第17-22页 |
| 1.2.2 热量式气流传感器敏感单元研究进展 | 第22-26页 |
| 1.2.3 热量式气流传感器热隔离结构研究进展 | 第26-28页 |
| 1.2.4 热量式气流传感器流向测量研究进展 | 第28页 |
| 1.2.5 热量式气流传感器导热模式研究进展 | 第28-29页 |
| 1.3 存在的主要问题 | 第29-31页 |
| 1.4 本文研究的主要内容 | 第31-33页 |
| 第2章 传感器机理分析及双坐标自检微结构设计 | 第33-49页 |
| 2.1 引言 | 第33页 |
| 2.2 热量式传感器理论剖析 | 第33-38页 |
| 2.2.1 热量传递方式分析 | 第33-35页 |
| 2.2.2 工作模式理论分析 | 第35-38页 |
| 2.3 传感器导热模式分析 | 第38-41页 |
| 2.3.1 传感器横向导热模式剖析 | 第38-39页 |
| 2.3.2 传感器纵向导热模式剖析 | 第39-41页 |
| 2.4 传感器结构设计及机理剖析 | 第41-47页 |
| 2.4.1 传感器整体结构设计 | 第41-43页 |
| 2.4.2 双坐标自检结构设计 | 第43-47页 |
| 2.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第3章 传感器模型仿真优化及AlN薄膜的研制 | 第49-73页 |
| 3.1 引言 | 第49页 |
| 3.2 传感器模型参数的仿真优化 | 第49-60页 |
| 3.2.1 传感器热隔离结构设计与仿真 | 第50-52页 |
| 3.2.2 加热单元结构设计与仿真 | 第52-60页 |
| 3.3 绝缘导热膜的研究 | 第60-72页 |
| 3.3.1 AlN薄膜晶体取向分析 | 第61-66页 |
| 3.3.2 AlN薄膜晶体质量分析 | 第66-69页 |
| 3.3.3 AlN薄膜表面粗糙度分析 | 第69-72页 |
| 3.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 第4章 气流传感器工艺实现及检测方法的研究 | 第73-93页 |
| 4.1 引言 | 第73页 |
| 4.2 气流传感器的工艺实现 | 第73-83页 |
| 4.2.1 工艺流程图 | 第73-74页 |
| 4.2.2 工艺解析 | 第74-83页 |
| 4.3 关键工艺优化方法研究 | 第83-86页 |
| 4.3.1 剥离工艺与等离子刻蚀工艺相结合 | 第83-86页 |
| 4.3.2 AlN膜与温敏单元刻蚀顺序优化 | 第86页 |
| 4.4 气流传感器多通道测试方法与测试箱的研制 | 第86-92页 |
| 4.4.1 多通道测试方法与模型的研究 | 第86页 |
| 4.4.2 气流传感器测试箱模型的仿真优化 | 第86-91页 |
| 4.4.3 气流传感器测试箱的研制 | 第91-92页 |
| 4.5 本章小结 | 第92-93页 |
| 第5章 气流传感器信号处理方法与性能测试 | 第93-107页 |
| 5.1 引言 | 第93页 |
| 5.2 测试平台整体结构 | 第93-94页 |
| 5.3 采集方法的研究 | 第94-97页 |
| 5.3.1 测试系统硬件部分 | 第94-96页 |
| 5.3.2 测试系统软件部分 | 第96-97页 |
| 5.4 气流传感器测试结果及双坐标自检方法分析 | 第97-106页 |
| 5.4.1 不同流速时气流传感器的输出 | 第97-104页 |
| 5.4.2 气流传感器自检方法分析 | 第104-106页 |
| 5.5 本章小结 | 第106-107页 |
| 结论 | 第107-109页 |
| 参考文献 | 第109-119页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第119-121页 |
| 致谢 | 第121页 |
