| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 引言 | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第5-10页 |
| ·超深亚微米铝连线应力迁移问题的重要性 | 第5-7页 |
| ·超深亚微米铝连线可靠性面临的挑战 | 第7-9页 |
| ·本论文的工作 | 第9-10页 |
| 第二章 铝互连线通孔应力迁移问题的研究背景 | 第10-19页 |
| ·铝连线通孔应力迁移现象 | 第10页 |
| ·铝连线通孔应力迁移原理 | 第10-11页 |
| ·铝连线通孔应力迁移研究方法 | 第11-18页 |
| ·测试结构的设计规范 | 第11-12页 |
| ·测试方法和步骤 | 第12-15页 |
| ·通孔电阻值模型 | 第15-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 制造工艺对通孔界面与应力迁移可靠性的影响 | 第19-31页 |
| ·超深亚微米铝连线通孔制造工艺 | 第19-23页 |
| ·等离子体刻蚀原理和系统 | 第19-21页 |
| ·等离子体刻蚀工艺形成通孔方法 | 第21-23页 |
| ·通孔应力迁移可靠性失效机理 | 第23-30页 |
| ·超深亚微米铝连线通孔应力迁移可靠性失效电性机理 | 第23-26页 |
| ·超深亚微米铝连线通孔应力迁移可靠性失效物理和化学机理 | 第26-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 制造工艺的改善提高通孔应力迁移可靠性 | 第31-38页 |
| ·实验设计 | 第31-32页 |
| ·实验结果 | 第32-36页 |
| ·分组条件工艺下的实验结果 | 第32-33页 |
| ·优化工艺条件下的实验结果 | 第33-36页 |
| ·实验分析与讨论 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第五章 总结 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-41页 |
| 致谢 | 第41-42页 |