| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 硅微机械陀螺概述 | 第10-11页 |
| 1.2.2 国外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.3 国内研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3 Sigma-Delta调制技术发展现状 | 第16-19页 |
| 1.4 微机械陀螺接口电路发展现状 | 第19-21页 |
| 1.5 研究目的和意义 | 第21-22页 |
| 1.6 本课题研究内容 | 第22-23页 |
| 第2章 电容式振动MEMS陀螺工作原理分析 | 第23-38页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 电容式振动MEMS陀螺的工作原理 | 第23-27页 |
| 2.2.1 科氏效应 | 第23-26页 |
| 2.2.2 电容式振动微陀螺工作原理 | 第26-27页 |
| 2.3 微机械陀螺的电容检测工作原理 | 第27-32页 |
| 2.3.1 检测梳齿运动方式分析 | 第27-28页 |
| 2.3.2 检测方向动力学方程 | 第28-30页 |
| 2.3.3 微陀螺的检测接口电路的工作原理 | 第30-32页 |
| 2.4 Sigma-Delta调制的原理 | 第32-36页 |
| 2.4.1 过采样技术 | 第32-33页 |
| 2.4.2 噪声整形技术 | 第33-36页 |
| 2.4.3 调制器非理想因素及造成的影响 | 第36页 |
| 2.5 微机械陀螺的性能指标 | 第36页 |
| 2.6 本章小结 | 第36-38页 |
| 第3章 硅微陀螺数字检测电路系统设计与仿真 | 第38-58页 |
| 3.1 单环Sigma-Delta调制器结构分析 | 第38-42页 |
| 3.2 调制器仿真载波分析 | 第42-44页 |
| 3.3 硅微机械陀螺检测电路系统的设计 | 第44-51页 |
| 3.3.1 硅微机械陀螺检测模态等效模型分析 | 第44-45页 |
| 3.3.2 微机械陀螺检测模式下的系统建模 | 第45-46页 |
| 3.3.3 检测电路系统中Sigma-Delta调制器的选取 | 第46-51页 |
| 3.4 系统设计与仿真 | 第51-56页 |
| 3.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 第4章 硅微陀螺数字闭环检测ASIC设计 | 第58-71页 |
| 4.1 运算放大器电路设计 | 第58-61页 |
| 4.2 开关电容积分器电路设计 | 第61-62页 |
| 4.3 电荷读出转换电路设计 | 第62-64页 |
| 4.4 比较器电路设计 | 第64-66页 |
| 4.5 时钟产生电路设计 | 第66-68页 |
| 4.6 整体电路仿真 | 第68-70页 |
| 4.7 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81页 |