MEMS加速度传感器测试平台控制系统的研制
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 论文研究方法和研究内容 | 第11-12页 |
| 1.3.1 研究方法 | 第11页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第11页 |
| 1.3.3 研究目标 | 第11页 |
| 1.3.4 拟解决关键问题 | 第11-12页 |
| 1.4 论文结构安排 | 第12-13页 |
| 2 硅MEMS加速度传感器测试系统方案 | 第13-18页 |
| 2.1 系统总体加速度测试平台总体要求分析 | 第13-14页 |
| 2.2 系统总体方案 | 第14-15页 |
| 2.3 总方案可行性评估 | 第15-18页 |
| 3 测试平台控制系统硬件结构设计 | 第18-41页 |
| 3.1 伺服控制系统组件设计 | 第18-25页 |
| 3.1.1 传感器夹具 | 第18-20页 |
| 3.1.2 接口电缆的研制 | 第20-22页 |
| 3.1.3 伺服电机及放大器 | 第22-25页 |
| 3.2 控制平台采集箱 | 第25-32页 |
| 3.2.1 数据采集机箱外壳设计 | 第25-27页 |
| 3.2.2 电源子系统与程控供电电源的设计 | 第27-30页 |
| 3.2.3 传感器信号中转板设计 | 第30-31页 |
| 3.2.4 模拟信号采集子系统 | 第31-32页 |
| 3.3 链路与辐射干扰的削弱 | 第32-41页 |
| 3.3.1 干扰来源分析 | 第32-33页 |
| 3.3.2 平台设备合理布局 | 第33-36页 |
| 3.3.3 数据滤波 | 第36-38页 |
| 3.3.4 数据矫正 | 第38-41页 |
| 4 测试平台控制系统软件设计与实现 | 第41-53页 |
| 4.1 系统模块规划 | 第41页 |
| 4.2 温箱参数设定与性能分析 | 第41-44页 |
| 4.3 意外断电源原点回归 | 第44-50页 |
| 4.4 分度盘的手动与全自动控制 | 第50-53页 |
| 5 实验与系统调试 | 第53-58页 |
| 5.1 分度台转动角度精度辅助测试 | 第53-54页 |
| 5.2 模拟通道信号采集精度辅助测试 | 第54-55页 |
| 5.3 加速度传感器自动化测试 | 第55-58页 |
| 6 结论及相关工作开展 | 第58-63页 |
| 6.1 相关工作开展 | 第58-62页 |
| 6.2 论文工作总结与展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
