| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 背景和意义 | 第11-12页 |
| 1.2 磁控溅射源设计的历史、现在及未来发展情况分析 | 第12-16页 |
| 1.2.1 磁控溅射源设计的历史情况分析 | 第12-13页 |
| 1.2.2 现在发展情况分析 | 第13-15页 |
| 1.2.3 未来发展情况分析 | 第15-16页 |
| 1.3 内容及结构安排 | 第16-17页 |
| 第二章 轨迹方程及插补原理 | 第17-29页 |
| 2.1 轨迹方程的概念 | 第17-19页 |
| 2.1.1 基于轨迹方程的数学模型 | 第18-19页 |
| 2.2 插补算法的概念 | 第19-28页 |
| 2.2.1 逐点比较插补法 | 第19-23页 |
| 2.2.2 数字积分插补法 | 第23-26页 |
| 2.2.3 数据采样插补法 | 第26-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 控制系统设计 | 第29-47页 |
| 3.1 整机系统介绍 | 第29-30页 |
| 3.2 系统结构设计 | 第30-35页 |
| 3.2.1 硬件结构部分设计 | 第30-33页 |
| 3.2.2 电气硬线连接设计 | 第33-35页 |
| 3.3 控制程序设计 | 第35-46页 |
| 3.3.1 软件架构 | 第35-36页 |
| 3.3.2 PLC程序编写语言及环境 | 第36-37页 |
| 3.3.3 原点搜索 | 第37-39页 |
| 3.3.4 系统停止操作 | 第39-40页 |
| 3.3.5 轨迹扫描及插补过程 | 第40-44页 |
| 3.3.6 报警处理 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 实验设计及实验结果 | 第47-57页 |
| 4.1 实验系统 | 第47-49页 |
| 4.1.1 实验系统的准备工作 | 第47页 |
| 4.1.2 实验系统的机械平台 | 第47-49页 |
| 4.2 仿真结果分析 | 第49-53页 |
| 4.3 应用结果的评价 | 第53-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 导师和作者简介 | 第63-65页 |
| 附件 | 第65-66页 |