| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·研究背景与意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-12页 |
| ·论文研究内容及结构 | 第12-14页 |
| ·论文研究内容 | 第12页 |
| ·章节安排 | 第12-14页 |
| 第二章 电容式 MEMS 麦克风调理电路设计基础 | 第14-19页 |
| ·电容式 MEMS 麦克风的结构与工作原理 | 第14-15页 |
| ·电容式 MEMS 麦克风的主要参数 | 第15-16页 |
| ·灵敏度 | 第15页 |
| ·噪声 | 第15页 |
| ·频率特性 | 第15-16页 |
| ·静态电容 | 第16页 |
| ·等效电阻 | 第16页 |
| ·电容式 MEMS 麦克风及其调理电路的简化电路模型 | 第16-18页 |
| ·电容式 MEMS 麦克风的等效电路模型 | 第16-17页 |
| ·电容式 MEMS 麦克风调理电路的等效电路模型 | 第17页 |
| ·电容式 MEMS 麦克风调理电路的设计重难点 | 第17-18页 |
| ·总结 | 第18-19页 |
| 第三章 调理电路结构设计 | 第19-23页 |
| ·结构设计的制约因素 | 第19-20页 |
| ·偏置电压的稳定性 | 第19页 |
| ·读出电路的低噪声设计 | 第19页 |
| ·读出电路的输入阻抗 | 第19-20页 |
| ·电容式 MEMS 麦克风偏置电路结构设计 | 第20-21页 |
| ·电容式 MEMS 麦克风读出电路结构设计 | 第21页 |
| ·其他电路 | 第21-22页 |
| ·静电保护电路 | 第22页 |
| ·电压检测电路 | 第22页 |
| ·总结 | 第22-23页 |
| 第四章 电容式 MEMS 麦克风调理电路设计与仿真 | 第23-64页 |
| ·偏置电路的设计与仿真 | 第23-46页 |
| ·Dickson 电荷泵 | 第24-25页 |
| ·时钟 | 第25-31页 |
| ·基准电压源 | 第31-36页 |
| ·基准电流源 | 第36-43页 |
| ·低通滤波器 | 第43-45页 |
| ·偏置电路整体仿真与小结 | 第45-46页 |
| ·读出电路的设计与仿真 | 第46-52页 |
| ·高通滤波电路 | 第46-49页 |
| ·单位增益缓冲器 | 第49-51页 |
| ·读出电路整体仿真与小结 | 第51-52页 |
| ·静电保护电路 | 第52-61页 |
| ·人体模型 | 第53-54页 |
| ·机器模型 | 第54-55页 |
| ·电源引脚与输出引脚的静电保护 | 第55-59页 |
| ·输入引脚的静电保护 | 第59-61页 |
| ·电压检测电路 | 第61-62页 |
| ·小结 | 第62-64页 |
| 第五章 版图设计与验证 | 第64-72页 |
| ·版图设计流程及使用的工艺 | 第64-66页 |
| ·版图设计流程 | 第64-66页 |
| ·版图设计使用的工艺 | 第66页 |
| ·版图设计使用的工具介绍 | 第66-67页 |
| ·版图设计工具 Virtuoso Layout Editor | 第66页 |
| ·版图验证工具 Calibre | 第66-67页 |
| ·版图设计需要考虑的因素 | 第67-71页 |
| ·平面布局 | 第67-68页 |
| ·匹配 | 第68-70页 |
| ·噪声问题 | 第70页 |
| ·寄生效应 | 第70-71页 |
| ·总结 | 第71-72页 |
| 第六章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 硕士期间发表论文 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
