| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| ·本论文的研究意义 | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第13-15页 |
| 第二章 ZnO 压电薄膜的制备及其性能研究 | 第15-33页 |
| ·声表面波技术及声表面波薄膜器件的要求 | 第15-16页 |
| ·ZnO 的性质 | 第16-17页 |
| ·ZnO 薄膜的制备 | 第17-18页 |
| ·ZnO 薄膜的测试及其性能分析 | 第18-31页 |
| ·ZnO 薄膜 XRD 结果分析 | 第18-24页 |
| ·ZnO 薄膜 I-V 特性分析 | 第24-28页 |
| ·ZnO 薄膜 AFM 结果分析 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 FeSiBC 非晶软磁薄膜的制备及其性能研究 | 第33-51页 |
| ·概述 | 第33-38页 |
| ·铁基非晶合金材料 | 第33-34页 |
| ·磁致伸缩效应 | 第34-35页 |
| ·巨杨氏模量效应 | 第35-37页 |
| ·单轴各向异性 | 第37-38页 |
| ·FeSiBC 薄膜的制备 | 第38页 |
| ·FeSiBC 薄膜的测试结果分析 | 第38-48页 |
| ·FeSiBC 薄膜的软磁性能分析 | 第38-46页 |
| ·FeSiBC 薄膜的结构分析 | 第46-48页 |
| ·实验方案改进 | 第48-50页 |
| ·夹心薄膜结构 | 第48-49页 |
| ·磁场退火 | 第49-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 第四章 双端 SAWR 的制备及其性能研究 | 第51-63页 |
| ·双端 SAWR 的工作原理 | 第51-52页 |
| ·双端 SAWR 结构及其谐振性能分析 | 第52-55页 |
| ·SAWR 的结构参数 | 第52页 |
| ·叉指换能器(IDT)结构分析 | 第52-53页 |
| ·反射栅结构分析 | 第53-54页 |
| ·双端 SAWR 结构分析 | 第54-55页 |
| ·双端 SAWR 的制备 | 第55-56页 |
| ·双端 SAWR 的设计参数 | 第55-56页 |
| ·双端 SAWR 的制作步骤 | 第56页 |
| ·双端 SAWR 的仿真 | 第56-61页 |
| ·仿真模型 | 第57页 |
| ·仿真结果分析 | 第57-61页 |
| ·双端 SAWR 的测试 | 第61-62页 |
| ·小结 | 第62-63页 |
| 第五章 磁声表面波磁场传感器的制备方法 | 第63-70页 |
| ·磁声表面波磁场传感器的原理 | 第63-64页 |
| ·磁声表面波磁场传感器的制备方法 | 第64-69页 |
| ·牺牲层工艺 | 第64-67页 |
| ·磁声表面波传感器的制作 | 第67-69页 |
| ·小结 | 第69-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-74页 |
| ·总结 | 第70-72页 |
| ·展望 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第79-80页 |