微透镜阵列的设计、制作及与CCD的集成技术
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-31页 |
| ·概述 | 第11-18页 |
| ·微透镜及阵列 | 第18-19页 |
| ·微透镜阵列的制作 | 第19-25页 |
| ·微透镜与图像传感器的集成 | 第25-29页 |
| ·本论文的研究 | 第29-31页 |
| 2 微光学元件设计理论 | 第31-60页 |
| ·折射微透镜的几何光学设计理论 | 第31-34页 |
| ·衍射微透镜的标量设计理论 | 第34-42页 |
| ·衍射微透镜的衍射效率 | 第42-46页 |
| ·衍射元件的矢量理论-耦合波理论 | 第46-54页 |
| ·折射和衍射光学元件的色散 | 第54-57页 |
| ·光学系统中的光能损失 | 第57-59页 |
| ·本章小节 | 第59-60页 |
| 3 微透镜阵列的制作 | 第60-99页 |
| ·光刻技术 | 第60-65页 |
| ·图形转移技术 | 第65-68页 |
| ·反应离子刻蚀技术 | 第68-79页 |
| ·微透镜的制作工艺 | 第79-93页 |
| ·特种材料为基的微透镜的制作 | 第93-97页 |
| ·本章小结 | 第97-99页 |
| 4 微光学性能测试 | 第99-119页 |
| ·微透镜质量评价方法 | 第99-100页 |
| ·表征聚能微透镜性能的主要参数 | 第100-107页 |
| ·微光学测试系统 | 第107-117页 |
| ·影响测量精度的因素分析 | 第117-118页 |
| ·本章小节 | 第118-119页 |
| 5 微透镜阵列与CCD 集成研究 | 第119-143页 |
| ·CCD 图像传感器 | 第119-124页 |
| ·微透镜改善图像传感器性能分析 | 第124-128页 |
| ·集成系统光学分析 | 第128-133页 |
| ·集成实验研究 | 第133-141页 |
| ·影响集成器件整体性能的因素 | 第141页 |
| ·本章小节 | 第141-143页 |
| 6 总结与展望 | 第143-145页 |
| 致谢 | 第145-146页 |
| 参考文献 | 第146-163页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的论文目录 | 第163-164页 |
| 附录2 申请专利 | 第164页 |
