| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第7-16页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第7-9页 |
| 1.2 柔性压力传感器 | 第9-12页 |
| 1.3 基于微结构的柔性压力传感器 | 第12-15页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第15-16页 |
| 2 电容压力传感器的有限元模型 | 第16-24页 |
| 2.1 具有两种电介质的电容器的电容理论公式 | 第16-18页 |
| 2.2 传感器的模型建立 | 第18-23页 |
| 2.2.1 传感器变形响应模拟 | 第18-20页 |
| 2.2.2 传感器的电容响应模拟 | 第20-21页 |
| 2.2.3 灵敏度和线性度的定义 | 第21-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 金字塔形微结构的材料属性和形状参数对传感器性能的影响 | 第24-35页 |
| 3.1 微结构材料的弹性模量的影响 | 第24-26页 |
| 3.2 金字塔的底边长的影响 | 第26-28页 |
| 3.3 金字塔的斜面倾角的影响 | 第28-30页 |
| 3.4 金字塔的高度的影响 | 第30-31页 |
| 3.5 金字塔的整体尺寸的影响 | 第31-33页 |
| 3.6 微结构参数的影响综合讨论 | 第33-34页 |
| 3.7 本章小结 | 第34-35页 |
| 4 圆柱形微结构的材料属性和形状参数对传感器性能的影响 | 第35-45页 |
| 4.1 微结构的弹性模量的影响 | 第36-37页 |
| 4.2 圆柱的半径的影响 | 第37-39页 |
| 4.3 圆柱的高度的影响 | 第39-41页 |
| 4.4 圆柱的轮廓的影响 | 第41-43页 |
| 4.5 微结构参数的影响综合讨论 | 第43-44页 |
| 4.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 5 圆锥形微结构的形状对传感器性能的影响 | 第45-53页 |
| 5.1 微结构内部空心圆锥的尺寸 | 第45-47页 |
| 5.2 微结构内部空心圆锥的形状 | 第47-49页 |
| 5.3 圆锥形微结构的外轮廓 | 第49-51页 |
| 5.4 基于三种形状微结构的传感器的性能对比 | 第51-52页 |
| 5.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |