基于光刻控制中性层的裂纹图案化方法研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题背景和研究意义 | 第8-12页 |
| 1.2 裂纹图案化方法 | 第12-15页 |
| 1.2.1 弯曲法 | 第12-13页 |
| 1.2.2 拉伸法 | 第13-14页 |
| 1.2.3 集中应力法 | 第14-15页 |
| 1.3 本文主要内容 | 第15-17页 |
| 2 裂纹图案化方法机理研究与工艺 | 第17-30页 |
| 2.1 裂纹图案化方法机理研究 | 第17-23页 |
| 2.1.1 裂纹图案化方法 | 第17-19页 |
| 2.1.2 机理研究 | 第19-23页 |
| 2.2 裂纹图案化方法工艺 | 第23-29页 |
| 2.2.1 控制裂纹的位置、密度与长度 | 第24-26页 |
| 2.2.2 控制多种材料裂纹图案化 | 第26-29页 |
| 2.3 小结 | 第29-30页 |
| 3 基于裂纹的应变传感器 | 第30-39页 |
| 3.1 应变传感器制作 | 第30-31页 |
| 3.2 实验设备 | 第31页 |
| 3.3 应变传感器性能检测 | 第31-35页 |
| 3.3.1 应变传感器灵敏度检测 | 第31-33页 |
| 3.3.2 应变传感器重复性检测 | 第33-35页 |
| 3.4 裂纹密度对应变传感器性能影响 | 第35-36页 |
| 3.5 裂纹长度对应变传感器性能影响 | 第36-37页 |
| 3.6 小结 | 第37-39页 |
| 4 传感器应用 | 第39-47页 |
| 4.1 传感器制作 | 第39-40页 |
| 4.2 传感器应用于生理信号检测 | 第40-42页 |
| 4.2.1 实验设备 | 第40页 |
| 4.2.2 人体呼吸信号检测 | 第40-41页 |
| 4.2.3 人体脉搏信号检测 | 第41-42页 |
| 4.3 传感器应用于压力检测 | 第42-43页 |
| 4.3.1 实验设备与材料 | 第42页 |
| 4.3.2 压力检测 | 第42-43页 |
| 4.4 传感器应用于温度检测 | 第43-46页 |
| 4.4.1 实验设备 | 第43页 |
| 4.4.2 温度检测 | 第43-46页 |
| 4.5 小结 | 第46-47页 |
| 结论 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-55页 |
