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深亚微米半导体器件瞬态电热特性的谱元法分析

摘要第3-4页
Abstract第4-5页
1 绪论第8-12页
    1.1 课题研究的背景及意义第8-9页
    1.2 国内外研究现状第9-10页
    1.3 本文的结构安排与主要研究内容第10-12页
2 半导体数值仿真的理论基础第12-19页
    2.1 模型方程第12-14页
    2.2 迁移率模型第14-16页
    2.3 载流子的产生复合模型第16-17页
    2.4 边界条件第17-19页
3 弹道二极管的瞬态电特性分析第19-44页
    3.1 简介第19页
    3.2 弹道二极管电特性的瞬态仿真第19-29页
        3.2.1 方程的归一化参数以及变量的选取第19-22页
        3.2.2 模型方程的谱元法表达式推导第22-26页
        3.2.3 弹道二极管的载流子浓度、电势与电子温度分布第26-29页
    3.3 弹道二极管电特性的瞬态全耦合仿真第29-43页
        3.3.1 简化流体力学模型谱元法表达式推导第29-32页
        3.3.2 弹道二极管的电特性模拟第32-33页
        3.3.3 流体力学模型谱元法表达式推导第33-41页
        3.3.4 考虑空穴影响的弹道二极管电特性模拟第41-43页
    3.4 本章小结第43-44页
4 MOSFET的瞬态电热特性分析第44-68页
    4.1 简介第44页
    4.2 MOSFET瞬态电特性求解第44-61页
        4.2.1 MOSFET的结构特征和工作原理第44-45页
        4.2.2 流体力学模型谱元法表达式推导第45-57页
        4.2.3 MOSFET瞬态电特性模拟第57-61页
    4.3 MOSFET瞬态电热特性的一体化模拟第61-67页
        4.3.1 MOSFET电热特性的耦合求解过程第61-62页
        4.3.2 热传导方程的谱元法表达式推导第62-64页
        4.3.3 MOSFET瞬态电热特性模拟及散热分析第64-67页
    4.4 本章小结第67-68页
5 MESFET瞬态电热特性模拟第68-85页
    5.1 简介第68页
    5.2 GaAs MESFET的电热特性分析第68-75页
        5.2.1 GaAs MESFET的工作原理和模型结构第68-69页
        5.2.2 模型方程的谱元法表达式推导第69-71页
        5.2.3 GaAs MESFET瞬态电热特性模拟第71-75页
    5.3 GaAs/Si MESFET的电热特性分析第75-84页
        5.3.1 GaAs/Si MESFET的工作原理和模型结构第75-76页
        5.3.2 模型方程的谱元法表达式推导第76-81页
        5.3.3 GaAs/Si MESFET瞬态电热特性模拟第81-84页
    5.4 本章小结第84-85页
6 总结与拓展第85-87页
    6.1 全文总结第85页
    6.2 后续拓展工作第85-87页
致谢第87-88页
附录第88-89页
参考文献第89-92页

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