| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-33页 |
| 1.1 研究工作的背景 | 第12-21页 |
| 1.1.1 半导体工业及微电子制造领域中测量技术的发展现状 | 第12-15页 |
| 1.1.2 散射度量的产生、发展及关键问题 | 第15-21页 |
| 1.1.2.1 散射度量的产生与发展 | 第15-18页 |
| 1.1.2.2 散射度量的实现关键 | 第18-20页 |
| 1.1.2.3 散射度量在半导体计量领域的应用趋势 | 第20-21页 |
| 1.2 衍射模拟算法的研究现状与相关理论 | 第21-29页 |
| 1.2.1 研究现状 | 第21-22页 |
| 1.2.2 矢量衍射模型相关理论 | 第22-29页 |
| 1.2.2.1 麦克斯韦方程 | 第22-23页 |
| 1.2.2.2 有限差分法 | 第23-26页 |
| 1.2.2.3 基于快速傅里叶分解的微分算法 | 第26-27页 |
| 1.2.2.4 积分法与层吸收法 | 第27-28页 |
| 1.2.2.5 严格耦合波分析法 | 第28-29页 |
| 1.3 本文的主要内容与意义 | 第29-31页 |
| 1.3.1 本文的研究内容 | 第29-30页 |
| 1.3.2 本文的研究意义 | 第30-31页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第31-32页 |
| 1.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第二章 严格耦合波分析法与层吸收法 | 第33-62页 |
| 2.1 周期结构的介绍 | 第33-36页 |
| 2.1.1 周期结构 | 第33-34页 |
| 2.1.2 入射光模型与Floquet条件 | 第34-36页 |
| 2.2 严格耦合波分析法 | 第36-50页 |
| 2.2.1 单层结构的傅空间麦氏方程 | 第37-42页 |
| 2.2.1.1 频域麦克斯韦旋度方程 | 第37页 |
| 2.2.1.2 电磁场的傅里叶展开 | 第37-39页 |
| 2.2.1.3 乘积关系ε_(gr)E_g的傅里叶展开 | 第39-40页 |
| 2.2.1.4 周期结构区域的傅空间耦合波方程 | 第40-41页 |
| 2.2.1.5 介电系数函数的傅里叶展开 | 第41-42页 |
| 2.2.2 特征值问题 | 第42-45页 |
| 2.2.3 边界条件 | 第45-47页 |
| 2.2.4 多层结构的传输矩阵法 | 第47-49页 |
| 2.2.5 零阶反射率与算法应用讨论 | 第49-50页 |
| 2.3 层吸收法 | 第50-60页 |
| 2.3.1 实空间与傅空间的波动方程 | 第50-53页 |
| 2.3.2 矩阵重置与层吸收 | 第53-54页 |
| 2.3.3 TBC边界条件 | 第54-56页 |
| 2.3.4 TF/SF模型与源 | 第56-57页 |
| 2.3.5 串联倍速算法 | 第57-58页 |
| 2.3.6 数值示例 | 第58-60页 |
| 2.4 本章小结 | 第60-62页 |
| 第三章 严格耦合波分析法的改进研究 | 第62-87页 |
| 3.1 改进算法的背景介绍 | 第62-63页 |
| 3.2 小角度近似技术 | 第63-75页 |
| 3.2.1 RCWA的对称技术 | 第64-70页 |
| 3.2.1.1 二维对称周期结构 | 第64-67页 |
| 3.2.1.2 一维对称周期结构 | 第67-70页 |
| 3.2.2 一维圆锥衍射的小角度入射近似 | 第70-74页 |
| 3.2.2.1 TE偏振入射 | 第70-72页 |
| 3.2.2.2 TM偏振入射 | 第72-74页 |
| 3.2.3 数值示例 | 第74-75页 |
| 3.3 法向矢量场的构造与优选 | 第75-86页 |
| 3.3.1 法向矢量技术 | 第75-77页 |
| 3.3.2 法向矢量场的构造 | 第77-80页 |
| 3.3.3 法向矢量场的优选 | 第80-86页 |
| 3.4 本章小结 | 第86-87页 |
| 第四章 傅里叶模态层吸收法 | 第87-114页 |
| 4.1 问题的提出 | 第87-91页 |
| 4.2 改进串联倍速算法 | 第91-94页 |
| 4.3 TE偏振平面衍射 | 第94-99页 |
| 4.3.1 边界网格波动方程 | 第95-97页 |
| 4.3.2 TF/SF混合波动方程与数值示例 | 第97-99页 |
| 4.4 TM偏振平面衍射 | 第99-102页 |
| 4.5 二维衍射 | 第102-106页 |
| 4.6 数值分析与步长选择原则 | 第106-112页 |
| 4.7 本章小结 | 第112-114页 |
| 第五章 衍射模拟算法在散射度量中的应用研究 | 第114-142页 |
| 5.1 层间错位测试技术 | 第114-126页 |
| 5.1.1 衍射光关注参数 | 第114-118页 |
| 5.1.2 层间错位测试 | 第118-122页 |
| 5.1.3 数值示例 | 第122-126页 |
| 5.2 衍射模拟算法软件模块 | 第126-140页 |
| 5.2.1 衍射模拟算法模块软硬件平台简介 | 第126-129页 |
| 5.2.2 衍射模拟算法模块实现 | 第129-138页 |
| 5.2.2.1 整体结构与接.类 | 第129-130页 |
| 5.2.2.2 计算基类 | 第130-133页 |
| 5.2.2.3 计算继承类 | 第133-137页 |
| 5.2.2.4 模块整合 | 第137-138页 |
| 5.2.3 衍射模拟算法模块在OCD软件平台的计算实例 | 第138-140页 |
| 5.3 本章小结 | 第140-142页 |
| 第六章 总结与展望 | 第142-144页 |
| 6.1 全文总结 | 第142-143页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第143-144页 |
| 致谢 | 第144-145页 |
| 参考文献 | 第145-154页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第154-155页 |
