多孔二氧化锡气体传感器的工艺及性能研究

摘要	第4-5页
ABSTRACT	第5-6页
目录	第7-9页
1 绪论	第9-18页
1.1 气敏传感器概述	第9-10页
1.2 二氧化锡气敏机理	第10-13页
1.3 SnO_2气敏材料研究现状及发展趋势	第13-14页
1.4 SnO_2对还原性气体的灵敏度分析	第14-17页
1.5 课题来源与研究内容	第17-18页
2 阳极氧化法制备多孔氧化锡气敏薄膜	第18-30页
2.1 金属锡阳极氧化概述	第18-19页
2.2 薄膜的溅射和表面抛光	第19-22页
2.3 阳极氧化工艺的研究	第22-24页
2.4 气敏测试系统简介	第24-25页
2.5 对 H2S 气体的气敏性能研究	第25-27页
2.6 阳极氧化基本原理分析	第27-30页
3 电泳沉积法制备氧化锡纳米厚膜	第30-42页
3.1 电泳沉积概述	第30-31页
3.2 SnO_2纳米粉体的制备	第31-33页
3.3 SnO_2悬浮液稳定性的研究	第33-37页
3.4 沉积参数与厚膜沉积量的关系	第37-41页
3.5 沉积过程动力学研究	第41-42页
4 电泳沉积厚膜的气敏性能研究	第42-55页
4.1 电泳沉积厚膜的形貌分析	第42-44页
4.2 对 H2S 的气敏特性研究	第44-48页
4.3 对 NO_2的气敏特性研究	第48-50页
4.4 对 NO_2气敏机理的分析	第50-55页
5 总结与展望	第55-57页
致谢	第57-58页
参考文献	第58-63页
附录1 攻读硕士学位期间发表的论文和专利	第63页