| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题来源及研究意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外光刻机发展状况 | 第9-11页 |
| 1.3 实时操作系统的发展和选定 | 第11-12页 |
| 1.4 本课题研究的主要内容 | 第12-14页 |
| 第2章 双工件台系统软件需求 | 第14-24页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 双工件台台体介绍 | 第14-16页 |
| 2.3 双工件台系统工作流程实现 | 第16-22页 |
| 2.4 工控机主控卡软硬系统需求 | 第22-23页 |
| 2.5 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 光刻机下位机 BSP 配置及其驱动设计 | 第24-48页 |
| 3.1 引言 | 第24页 |
| 3.2 工控机下位机主板 BSP 配置 | 第24-30页 |
| 3.3 光刻机下位机 VME 主板驱动 | 第30-36页 |
| 3.3.1 光刻机 VME 总线工控机简介 | 第30-32页 |
| 3.3.2 主板 Universe II 桥接芯片简介 | 第32-33页 |
| 3.3.3 主板 VME 驱动设置和中断初始化 | 第33-36页 |
| 3.4 下位机主板网络驱动开发 | 第36-40页 |
| 3.4.1 网络设备驱动工作特点介绍 | 第36-37页 |
| 3.4.2 VxWorks 网络驱动内核层次 | 第37-38页 |
| 3.4.3 PPC7457 主控板卡网络设备驱动 | 第38-40页 |
| 3.5 下位机主板 Flash 文件系统驱动开发 | 第40-47页 |
| 3.5.1 Flash 设备驱动简介 | 第40-42页 |
| 3.5.2 工控机主板 Flash 底层驱动实现相关设置 | 第42-45页 |
| 3.5.3 工控机主板上使用 Flash 设备 | 第45-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 软件系统详细设计与实现 | 第48-62页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 软件系统规划 | 第48-55页 |
| 4.2.1 功能模块划分 | 第48-49页 |
| 4.2.2 软件模式划分 | 第49-51页 |
| 4.2.3 软件模式详细设计 | 第51-55页 |
| 4.3 下位机软件设计部分关键细节 | 第55-61页 |
| 4.3.1 下位机网络通信设计 | 第55-58页 |
| 4.3.2 下位机通信协议设计 | 第58-59页 |
| 4.3.3 工控机 VME 中断服务程序设计 | 第59-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 下位机软件实时性优化及测试 | 第62-75页 |
| 5.1 引言 | 第62页 |
| 5.2 工控机网络传输速率改进 | 第62-65页 |
| 5.2.1 Zbuf 套接字概念 | 第62-63页 |
| 5.2.2 Zbuf 套接字在光刻机中应用 | 第63-65页 |
| 5.3 下位机网络数据解析优化 | 第65-67页 |
| 5.4 大片数据处理方案选定 | 第67-70页 |
| 5.4.1 数据处理方案简要分析 | 第67-68页 |
| 5.4.2 下位机 VxWorks 内存空间布局 | 第68-70页 |
| 5.5 实验环境搭建及调试 | 第70-74页 |
| 5.5.1 搭建环境 | 第70-72页 |
| 5.5.2 下位机软件实时性测试 | 第72-74页 |
| 5.6 本章小结 | 第74-75页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及其他成果 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |