| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题来源及研究目的和意义 | 第9页 |
| 1.2 课题研究内容的国内外现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 光刻机研制的发展现状 | 第9-10页 |
| 1.2.2 宏微控制策略的发展现状 | 第10-11页 |
| 1.2.3 分数阶PID控制的发展现状 | 第11-12页 |
| 1.2.4 遗传算法的发展现状 | 第12-13页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 掩模台系统结构 | 第14-23页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 掩模台整体结构 | 第14-15页 |
| 2.3 执行机构 | 第15-16页 |
| 2.3.1 音圈电机 | 第15-16页 |
| 2.3.2 永磁同步直线电机 | 第16页 |
| 2.4 测量系统 | 第16-20页 |
| 2.4.1 光栅尺 | 第16-17页 |
| 2.4.2 霍尔传感器 | 第17-18页 |
| 2.4.3 电容传感器 | 第18-19页 |
| 2.4.4 激光干涉仪 | 第19-20页 |
| 2.5 掩模台系统控制指标分析 | 第20-22页 |
| 2.6 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 宏微控制策略与模型的建立 | 第23-42页 |
| 3.1 引言 | 第23页 |
| 3.2 执行机构的模型建立 | 第23-27页 |
| 3.2.1 永磁同步直线电机的模型建立 | 第23-25页 |
| 3.2.2 直线音圈电机的模型建立 | 第25-27页 |
| 3.3 微动平台的运动解耦 | 第27-33页 |
| 3.3.1 微动台运动学解耦 | 第28-31页 |
| 3.3.2 微动台动力学解耦 | 第31-33页 |
| 3.4 宏微控制策略和模型建立 | 第33-41页 |
| 3.4.1 采用宏微控制策略的必要性 | 第33-37页 |
| 3.4.2 宏微控制策略的选定 | 第37-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 基于分数阶PID的宏微系统研究 | 第42-58页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 分数阶PID的定义 | 第42-44页 |
| 4.3 分数阶微积分算子的近似 | 第44-52页 |
| 4.3.1 直接近似方法 | 第44-45页 |
| 4.3.2 间接近似方法 | 第45-49页 |
| 4.3.3 改进近似微积分算子的实现 | 第49-50页 |
| 4.3.4 Oustaloup方法与改进近似方法的对比 | 第50-52页 |
| 4.4 分数阶PID仿真模块的实现 | 第52-53页 |
| 4.5 分数阶PID控制参数变化对系统性能的影响 | 第53-57页 |
| 4.5.1 Kp对系统性能的影响 | 第53-54页 |
| 4.5.2 Ki对系统性能的影响 | 第54页 |
| 4.5.3 Kd对系统性能的影响 | 第54-55页 |
| 4.5.4 积分阶次 λ 对系统性能的影响 | 第55-56页 |
| 4.5.5 微分阶次 μ 对系统性能的影响 | 第56-57页 |
| 4.6 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 基于遗传算法的分数阶PID参数整定 | 第58-71页 |
| 5.1 算法介绍及实现过程 | 第58-61页 |
| 5.1.1 算法简介 | 第58页 |
| 5.1.2 遗传算法的基本原理 | 第58-60页 |
| 5.1.3 遗传算法的实现 | 第60-61页 |
| 5.2 仿真及结果分析 | 第61-65页 |
| 5.3 主从式宏微运动控制实验 | 第65-70页 |
| 5.3.1 实验平台简介 | 第65-67页 |
| 5.3.2 主从式宏微平台运动试验及分析 | 第67-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |