应变式薄膜微传感器的制备与性能表征的试验研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章 绪论	第9-19页
·课题研究背景目的及意义	第9-10页
·课题研究背景	第9-10页
·课题研究目的及意义	第10页
·切削测力传感器国内外研究现状	第10-17页
·切削测力仪国内外发展现状	第10-13页
·薄膜制作工艺发展现状	第13-15页
·薄膜传感器的发展现状	第15页
·信号无线采集与监控的发展现状	第15-17页
·本系统中的关键问题和处理方案	第17页
·论文的主要研究内容	第17-19页
第二章 应变式薄膜传感器设计及理论分析	第19-42页
·应变式薄膜传感器的测量工作原理分析	第19-23页
·应变式薄膜传感器的选材、设计与理论研究	第23-36页
·薄膜传感器的选材	第23-27页
·薄膜传感器的设计	第27-30页
·薄膜传感器的理论研究	第30-36页
·薄膜传感器制备的影响因素分析	第36-42页
第三章 薄膜传感器的制备及工艺研究	第42-58页
·薄膜传感器的制备方法	第42-43页
·基底的制备与选择	第43-45页
·薄膜的制备与表征分析	第45-54页
·制备方案的单因素试验及结果表征	第46-48页
·制备方案的正交试验及结果表征	第48-49页
·正交试验结果的极差分析与方差分析	第49-53页
·薄膜厚度经验公式	第53页
·目标工艺参数选择与薄膜制备	第53-54页
·薄膜传感器制备	第54-58页
·绝缘层与传感器薄膜的溅射	第55-56页
·光刻工艺	第56-57页
·沉积保护层封装	第57-58页
第四章 薄膜传感器的标定与试验研究	第58-73页
·薄膜传感器表征与传感器优化制作	第58-63页
·尺寸测量	第58-60页
·传感器优化制备	第60页
·成分标定与表面质量测量	第60-63页
·静力学标定试验	第63-66页
·实际切削力采集试验	第66-71页
·切削力无线采集与监控系统设计	第66-68页
·车刀静力学加载与切削力测量无线监测采集试验	第68-71页
·试验总结与改进	第71-73页
第五章 总结	第73-76页
·论文的主要工作	第73-74页
·主要创新点	第74页
·展望	第74-76页
参考文献	第76-81页
攻读硕士学位期间发表的论文	第81-82页
致谢	第82页