晶圆传输机器人振动分析与轨迹控制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题背景 | 第9-11页 |
| ·集成电路的发展及IC 制造业现状 | 第9-10页 |
| ·晶圆传输机器人简介 | 第10-11页 |
| ·课题研究目的和意义 | 第11-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-16页 |
| ·机械系统振动一般研究方法 | 第13-15页 |
| ·晶圆传输机器人振动研究 | 第15-16页 |
| ·课题来源和研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 晶圆传输机器人动力学建模 | 第17-37页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·机器人结构及传动原理分析 | 第17-18页 |
| ·刚柔耦合动力学模型 | 第18-21页 |
| ·建模依据 | 第18-19页 |
| ·模型及参数说明 | 第19-21页 |
| ·模型分析 | 第21-31页 |
| ·运动学计算 | 第21-23页 |
| ·动力学计算 | 第23-31页 |
| ·模型验证与评估 | 第31-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 晶圆传输机器人振动分析 | 第37-47页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·振动因素归纳 | 第37-38页 |
| ·机器人结构对振动影响 | 第38-43页 |
| ·结构分析 | 第38页 |
| ·手臂长度对振动影响 | 第38-40页 |
| ·手臂宽度对振动影响 | 第40-43页 |
| ·机器人运动对振动影响 | 第43-45页 |
| ·T 轴运动对振动影响 | 第43-44页 |
| ·R 轴运动对振动影响 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第4章 晶圆传输机器人轨迹控制 | 第47-57页 |
| ·引言 | 第47-48页 |
| ·轨迹控制算法实现 | 第48-53页 |
| ·路径规划 | 第48-50页 |
| ·轨迹规划 | 第50-53页 |
| ·实验验证 | 第53-56页 |
| ·实验系统搭建 | 第53-55页 |
| ·轨迹控制实验验证 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
