面向晶圆传输的接触面微力与粘滑传感器研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第9-11页 |
| ·国内外研究发展现状 | 第11-17页 |
| ·微力与粘滑传感器国外研究现状 | 第11-14页 |
| ·微力与粘滑传感器国内研究现状 | 第14-15页 |
| ·研究现状小结 | 第15-17页 |
| ·课题来源 | 第17页 |
| ·主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 接触面微力与粘滑传感器系统设计 | 第18-27页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·晶圆传输接触面典型参数分析 | 第18-19页 |
| ·接触面微力与粘滑传感器的性能指标 | 第19-20页 |
| ·接触面微力与粘滑传感器系统方案 | 第20-26页 |
| ·微力检测原理 | 第21-24页 |
| ·粘滑动态感知原理 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 接触面微力与粘滑传感器本体设计 | 第27-41页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·接触面微力与粘滑传感器整体架构 | 第27-28页 |
| ·微力传感器本体设计 | 第28-30页 |
| ·微力传感器结构设计 | 第28-29页 |
| ·微力传感器样机制作 | 第29-30页 |
| ·粘滑动态传感器本体设计 | 第30-40页 |
| ·圆柱形永磁铁空间磁感强度分析 | 第30-34页 |
| ·圆柱形永磁铁结构设计 | 第34-35页 |
| ·电感阵列结构设计 | 第35-36页 |
| ·弹性体结构设计 | 第36-39页 |
| ·粘滑动态传感器样机制作 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 接触面微力与粘滑传感器信号处理 | 第41-49页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·微力传感器信号处理 | 第41-42页 |
| ·粘滑动态传感器信号处理 | 第42-48页 |
| ·前置放大 | 第42-44页 |
| ·信号滤波 | 第44-46页 |
| ·抗干扰处理 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 接触面微力与粘滑传感器性能实验研究 | 第49-61页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·实验系统建立 | 第49-50页 |
| ·微力传感器样机性能测试实验 | 第50-55页 |
| ·Z 向力加载和卸载实验 | 第51-53页 |
| ·XZ 向与YZ 向力加载和卸载实验 | 第53-55页 |
| ·粘滑动态传感器样机性能测试实验 | 第55-59页 |
| ·速度跟随特性实验 | 第55-57页 |
| ·速度测量特性实验 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
