合金薄膜传感器测量切削力技术的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·课题来源及其依据 | 第9-10页 |
| ·切削测力仪国内外研究现状 | 第10-13页 |
| ·压电式切削测力仪的研究现状 | 第11-12页 |
| ·应变式切削测力仪的研究现状 | 第12-13页 |
| ·薄膜压力传感器技术的发展现状 | 第13-16页 |
| ·本文的主要研究内容及组织结构 | 第16-18页 |
| 第2章 合金薄膜传感器单元的理论设计 | 第18-34页 |
| ·应变式传感器设计原理 | 第18-21页 |
| ·合金薄膜传感器单元整体设计 | 第21-26页 |
| ·传感器单元整体方案设计 | 第21-22页 |
| ·方案一设计 | 第22-23页 |
| ·方案二设计 | 第23-24页 |
| ·最终方案的确定 | 第24-26页 |
| ·传感器单元合金薄膜电阻的设计 | 第26-29页 |
| ·合金薄膜电阻材料的选取 | 第26-27页 |
| ·电阻条尺寸与形状设计 | 第27-28页 |
| ·电阻条在传感器上的排布设计 | 第28-29页 |
| ·刀具切削力测量系统的设计 | 第29-30页 |
| ·传感器输出特性的理论推导 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 合金薄膜传感器输出特性的有限元仿真分析 | 第34-52页 |
| ·刀具悬臂梁有限元模型的建立 | 第34-35页 |
| ·镍铬合金薄膜输出特性的仿真分析 | 第35-41页 |
| ·悬臂梁简化模型的设计 | 第35页 |
| ·悬臂梁传感器有限元模型的建立 | 第35-38页 |
| ·施加载荷并求解 | 第38页 |
| ·仿真结果分析 | 第38-41页 |
| ·两种薄膜材料输出特性的研究 | 第41-42页 |
| ·切削力测量仿真分析 | 第42-51页 |
| ·切削力测量系统模型的建立 | 第42-44页 |
| ·仿真结果分析 | 第44-50页 |
| ·传感器单元 C_2、C_3、C_4的仿真结果 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 合金薄膜传感器单元的制备 | 第52-63页 |
| ·薄膜传感器单元制备的工艺流程 | 第52-53页 |
| ·基片的制备及处理工艺 | 第53-57页 |
| ·45 号钢的制备与处理工艺 | 第54-56页 |
| ·Ti6Al4V 的制备与处理工艺 | 第56-57页 |
| ·薄膜的制备工艺 | 第57-61页 |
| ·绝缘膜的制备 | 第59页 |
| ·镍铬合金薄膜电阻的制备工艺 | 第59-61页 |
| ·保护层的制备 | 第61页 |
| ·传感器单元的成形、热处理和扩散焊 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第5章 总结 | 第63-65页 |
| ·论文的主要工作 | 第63-64页 |
| ·主要创新点 | 第64页 |
| ·展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
