| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-13页 |
| ·课题背景、研究的目的和意义 | 第7-8页 |
| ·测厚技术发展状况 | 第8-11页 |
| ·非在线测厚技术 | 第9-10页 |
| ·在线测厚技术 | 第10-11页 |
| ·本课题的国内外现状综述 | 第11页 |
| ·国外现状综述 | 第11页 |
| ·国内现状综述 | 第11页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第11-13页 |
| 第2章 薄膜测量系统的方案设计及工程实现 | 第13-36页 |
| ·薄膜测量系统的整体结构设计 | 第13-14页 |
| ·薄膜测量系统硬件电路的设计 | 第14-25页 |
| ·核心处理芯片外围电路设计 | 第14-15页 |
| ·系统电源的处理 | 第15-16页 |
| ·硬件滤波措施 | 第16-17页 |
| ·传感器和数据采样电路 | 第17-19页 |
| ·人机交互系统的设计 | 第19-21页 |
| ·伺服电机控制 | 第21-23页 |
| ·接近传感器 | 第23-25页 |
| ·测量系统上层软件的设计 | 第25-33页 |
| ·上层界面的软件设计 | 第25-27页 |
| ·数字滤波算法研究 | 第27-29页 |
| ·校正装置的设计与实现 | 第29-30页 |
| ·SPC校验规则设计 | 第30-31页 |
| ·数据导出接口设计 | 第31-32页 |
| ·测量极限位置自动滤除算法 | 第32-33页 |
| ·测量系统的调试与运行 | 第33-35页 |
| ·调试中遇到的主要问题 | 第33-34页 |
| ·测量系统运行情况 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 控制系统建模与延时补偿算法 | 第36-46页 |
| ·系统控制模型的建立 | 第36-39页 |
| ·Smith-PID控制器 | 第39-42页 |
| ·Smith预估原理 | 第39-40页 |
| ·Smith预估器的设计与仿真 | 第40-42页 |
| ·基于Dahline算法的串联补偿控制器设计 | 第42-45页 |
| ·基于Dahline算法的串联补偿控制器原理 | 第42-43页 |
| ·基于Dahline算法的串联补偿控制器的设计与仿真 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 模糊PID控制器的设计 | 第46-57页 |
| ·模糊控制器的工作过程 | 第46页 |
| ·模糊 PID 控制器的设计 | 第46-56页 |
| ·模糊PID控制器简介 | 第46-48页 |
| ·模糊PID控制器结构的确定 | 第48-49页 |
| ·模糊参数基本论域和隶属函数确定 | 第49-50页 |
| ·量化因子和比例因子的确定 | 第50页 |
| ·模糊控制规则的建立 | 第50-53页 |
| ·模糊决策与PID参数查询表 | 第53-54页 |
| ·模糊控制算法流程图 | 第54-56页 |
| ·模糊PID控制器仿真 | 第56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 控制系统仿真结果分析 | 第57-63页 |
| ·实际工业生产环境介绍 | 第57-58页 |
| ·模型精确时的仿真结果 | 第58页 |
| ·模型失配时的仿真结果 | 第58-60页 |
| ·基于鲁棒性的控制算法选择 | 第60-61页 |
| ·干扰下的模糊PID控制系统输出 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69页 |