| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·集成电路的发展状况 | 第7-9页 |
| ·集成电路的设计技术 | 第9-11页 |
| ·集成电路的制造工艺 | 第11-12页 |
| ·集成电路的可制造性设计 | 第12-13页 |
| ·本文完成的工作及组织结构 | 第13-15页 |
| 第二章 集成电路制造流程及工艺 | 第15-22页 |
| ·光刻工艺 | 第15-16页 |
| ·分辨率增强技术(RET) | 第16-19页 |
| ·光学近校正(OPC) | 第19-20页 |
| ·光学邻近校正的验证 | 第20-22页 |
| 第三章 POST-OPC平滑修正技术 | 第22-29页 |
| ·研究背景 | 第22-23页 |
| ·波纹效应 | 第23-24页 |
| ·一种新的Post-OPC修正方法──平滑修正技术 | 第24-25页 |
| ·设计流程 | 第25-26页 |
| ·设计软件环境 | 第26-29页 |
| 第四章 多边形匹配比较算法的提出 | 第29-32页 |
| ·算法研究的对象 | 第30页 |
| ·算法研究的目标 | 第30-31页 |
| ·算法研究的应用 | 第31-32页 |
| 第五章 多边形匹配比较算法步骤 | 第32-45页 |
| ·单个多边形对的匹配和比较 | 第32-41页 |
| ·算法设计流程图 | 第33-34页 |
| ·起点的匹配 | 第34-36页 |
| ·起点的匹配条件 | 第34-35页 |
| ·起点匹配模糊算法 | 第35-36页 |
| ·点的遍历及段偏移量比较 | 第36-37页 |
| ·进入下一个参考点的判断 | 第37-38页 |
| ·角段和边段创建法 | 第38-40页 |
| ·段始点选择 | 第40-41页 |
| ·两个版图之间的多边形匹配 | 第41-45页 |
| ·重心排序 | 第42页 |
| ·边界重叠判定 | 第42-43页 |
| ·重叠面积筛选 | 第43-45页 |
| 第六章 算法实现及实验结果 | 第45-54页 |
| ·编码方式 | 第45-46页 |
| ·数据结构 | 第46-47页 |
| ·程序实现 | 第47-48页 |
| ·实验结果 | 第48-53页 |
| ·单个多边形对的匹配比较实验 | 第49-52页 |
| ·版图中多边形的匹配比较实验 | 第52-53页 |
| ·算法复杂度分析 | 第53-54页 |
| 第七章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58页 |