ATO导电薄膜的溶胶—凝胶法制备及机理研究

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-7页
1 绪论	第7-15页
·透明导电薄膜介绍	第7-11页
·ATO 薄膜的研究状况	第11-13页
·论文意义及主要内容	第13-15页
2 ATO 导电薄膜技术基础	第15-33页
·薄膜介绍	第15-17页
·薄膜制备技术	第17-20页
·溶胶-凝胶法	第20-26页
·掺杂的理论计算	第26-29页
·薄膜结构表征方法	第29-33页
3 ATO 导电薄膜的结构和性能分析	第33-43页
·ATO 导电薄膜的样品制备	第33-35页
·ATO 导电薄膜的物相分析	第35-38页
·ATO 导电薄膜的微观结构	第38-40页
·ATO 导电薄膜导电性能分析	第40-42页
·本章小结	第42-43页
4 ATO 导电薄膜形成机理及导电机理研究	第43-56页
·ATO 导电薄膜制备的物理化学	第43-46页
·ATO 导电薄膜的生长机理研究	第46-51页
·ATO 导电薄膜的导电机理研究	第51-53页
·ATO 导电薄膜的理论电导率计算	第53-54页
·本章小结	第54-56页
5 总结和展望	第56-58页
致谢	第58-59页
参考文献	第59-63页
附录1 作者在攻读硕士学位期间发表的论文	第63页