| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-13页 |
| 第二章 文献综述 | 第13-29页 |
| ·ZnO材料结构与性质 | 第13-16页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第13-14页 |
| ·ZnO的基本性质和应用 | 第14-16页 |
| ·ZnO薄膜材料生长取向 | 第16-23页 |
| ·极性与非极性 | 第16-18页 |
| ·影响薄膜择优取向的因素 | 第18-21页 |
| ·制备非极性薄膜的意义 | 第21-22页 |
| ·半极性ZnO薄膜 | 第22-23页 |
| ·ZnO薄膜制备方法 | 第23-26页 |
| ·脉冲激光沉积技术 | 第23页 |
| ·磁控溅射 | 第23-24页 |
| ·分子束外延技术 | 第24-25页 |
| ·金属有机化学气相沉积 | 第25-26页 |
| ·非极性ZnO薄膜的研究进展 | 第26-27页 |
| ·本文的选题依据和研究内容 | 第27-29页 |
| 第三章 实验流程及薄膜性能表征 | 第29-35页 |
| ·脉冲激光沉积设备及原理 | 第29-30页 |
| ·非极性ZnO薄膜的制备过程 | 第30-31页 |
| ·靶材的制备 | 第30页 |
| ·衬底及其清洗 | 第30-31页 |
| ·薄膜制备过程 | 第31页 |
| ·薄膜样品的性能表征手段 | 第31-35页 |
| ·X射线衍射仪 | 第32-33页 |
| ·场发射扫描电子显微电镜 | 第33页 |
| ·霍尔测试 | 第33-34页 |
| ·光谱测试 | 第34页 |
| ·X射线光电子能谱 | 第34页 |
| ·其他测试 | 第34-35页 |
| 第四章 R面蓝宝石衬底上Mn-Na共掺制备非极性ZnO薄膜 | 第35-55页 |
| ·衬底温度对a面非极性Zn(Mn,Na)O薄膜的影响 | 第35-42页 |
| ·结构与形貌分析 | 第35-38页 |
| ·光电性能分析 | 第38-39页 |
| ·磁学性能分析 | 第39-42页 |
| ·氧压对非极性Zn(Mn,Na)O薄膜的影响 | 第42-45页 |
| ·结构与形貌分析 | 第42-43页 |
| ·光电性能分析 | 第43-45页 |
| ·Mn掺杂浓度对a面非极性Zn(Mn,Na)O薄膜的影响 | 第45-54页 |
| ·结构与形貌分析 | 第45-49页 |
| ·电学性能分析 | 第49页 |
| ·光学性能分析 | 第49-52页 |
| ·薄膜成分和元素分析 | 第52-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 第五章 非极性ZnO/NiO异质结的制备与研究 | 第55-69页 |
| ·R面蓝宝石衬底上制备ZnO非极性薄膜 | 第56-60页 |
| ·结构与形貌分析 | 第56-58页 |
| ·电学和光学性能分析 | 第58-60页 |
| ·玻璃衬底上制备立方NiO半导体薄膜 | 第60-66页 |
| ·衬底温度对NiO薄膜的结构和性能的影响 | 第60-63页 |
| ·生长气压对NiO薄膜的结构和性能的影响 | 第63-66页 |
| ·非极性ZnO/NiO异质结的制备与电学性能研究 | 第66-67页 |
| ·非极性ZnO/NiO异质结的制备 | 第66-67页 |
| ·非极性ZnO/NiO异质结的I-V性能表征 | 第67页 |
| ·小结 | 第67-69页 |
| 第六章 玻璃衬底上Co-Ga共掺制备半极性ZnO薄膜 | 第69-81页 |
| ·生长气压对半极性Zn(Co,Ga)O薄膜的影响 | 第69-76页 |
| ·结构与形貌分析 | 第70-72页 |
| ·电学性能与元素分析 | 第72-74页 |
| ·光学与磁性性能分析 | 第74-76页 |
| ·衬底温度对半极性Zn(Co,Ga)O薄膜的影响 | 第76-77页 |
| ·玻璃衬底上纯ZnO半极性薄膜的制备及其性能研究 | 第77-78页 |
| ·小结 | 第78-81页 |
| 第七章 石英衬底上制备过渡金属掺杂的ZnO薄膜生长取向与性能研究 | 第81-87页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜生长取向的影响 | 第81-82页 |
| ·生长气压对ZnO薄膜生长取向的影响 | 第82-83页 |
| ·激光能量和靶距对ZnO薄膜生长取向的影响 | 第83-85页 |
| ·Mn掺杂量对ZnO薄膜生长取向的影响 | 第85页 |
| ·小结 | 第85-87页 |
| 第八章 结论与展望 | 第87-89页 |
| 参考文献 | 第89-97页 |
| 致谢 | 第97-99页 |
| 个人简历 | 第99-101页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第101页 |
