| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·国内外发展现状 | 第11-15页 |
| ·湿度传感器国外发展现状 | 第12-13页 |
| ·湿度传感器国内研究现状 | 第13-15页 |
| ·课题研究内容与论文结构 | 第15-17页 |
| ·研究内容 | 第15-16页 |
| ·论文结构安排 | 第16-17页 |
| 第2章 传感器技术基础 | 第17-34页 |
| ·传感器基本概念 | 第17-19页 |
| ·传感器的定义与组成 | 第17-19页 |
| ·传感器的分类 | 第19页 |
| ·传感器性能指标 | 第19-30页 |
| ·传感器静态性能分析 | 第19-25页 |
| ·传感器动态性能分析 | 第25-30页 |
| ·传感器的标定 | 第30页 |
| ·传感器的选择和性能改善途径 | 第30-33页 |
| ·传感器的正确选择 | 第30-32页 |
| ·改善传感器性能的技术途径 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 湿度传感器 | 第34-45页 |
| ·湿敏传感器概念与分类 | 第34-40页 |
| ·湿度传感器基本概念 | 第34-36页 |
| ·湿敏传感器分类 | 第36-40页 |
| ·湿敏传感器的主要特性参数 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 多孔氧化铝湿度传感器的性能分析与结构优化 | 第45-53页 |
| ·多孔氧化铝湿敏器件感湿机理 | 第45-48页 |
| ·多孔氧化铝湿度传感器结构 | 第45-46页 |
| ·多孔氧化铝湿度传感器感湿机理 | 第46-48页 |
| ·多孔湿度传感器结构优化与性能分析 | 第48-52页 |
| ·多孔氧化铝湿敏器件结构优化 | 第48-49页 |
| ·多孔氧化铝湿敏器件灵敏度性能分析 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 改进的PI电容湿度传感器性能分析与结构设计 | 第53-65页 |
| ·PI电容湿度传感器感湿机理 | 第53-57页 |
| ·高分子电容湿度传感器结构 | 第53-54页 |
| ·高分子电容湿度传感器感湿机理 | 第54-57页 |
| ·PI电容湿度传感器感湿膜改进与性能分析 | 第57-63页 |
| ·PI电容湿度传感器结构与改进 | 第58-59页 |
| ·PI电容湿度传感器响应时间性能分析 | 第59-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 总结与展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第73页 |