| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题背景 | 第10-11页 |
| 1.1.2 研究的目的和意义 | 第11页 |
| 1.2 光刻设备的国内外研究现状及高精度宏微驱动技术介绍 | 第11-14页 |
| 1.2.1 光刻设备的国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 高精度宏微驱动技术介绍 | 第13-14页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 掩模台机械结构特点及六自由度解耦方法 | 第16-25页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 掩模台机械结构特点及功能分析 | 第16-19页 |
| 2.2.1 掩模台功能分析 | 第16-17页 |
| 2.2.2 光刻机掩模台结构特点 | 第17-19页 |
| 2.3 微动台与音圈电机的位置关系解耦 | 第19-22页 |
| 2.4 微动台与音圈电机的力学关系解耦 | 第22-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 掩模台微动解耦的动力学联合仿真 | 第25-41页 |
| 3.1 基于 ADAMS 的虚拟样机技术及联合控制仿真环境介绍 | 第25-28页 |
| 3.1.1 掩模台模台微动台的 ADAMS 模型建立 | 第26-27页 |
| 3.1.2 Adams 模型与 Matlab 的交互 | 第27-28页 |
| 3.2 采用位置解耦的控制系统设计 | 第28-33页 |
| 3.2.1 基于位置解耦的控制策略 | 第29-30页 |
| 3.2.2 基于位置解耦的联合仿真实验 | 第30-33页 |
| 3.3 采用力学解耦的控制系统设计 | 第33-40页 |
| 3.3.1 基于力学解耦的控制策略 | 第33-34页 |
| 3.3.2 基于力学解耦的仿真实验 | 第34-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 掩模台宏动轨迹规划及控制系统软件设计 | 第41-61页 |
| 4.1 掩模台宏动轨迹规划 | 第41-46页 |
| 4.1.1 掩模台运动轨迹规划 | 第41-46页 |
| 4.2 控制系统软件设计 | 第46-48页 |
| 4.3 上位机软件设计 | 第48-50页 |
| 4.3.1 上下位机之间网络传输协议 | 第48-49页 |
| 4.3.2 软件功能设计 | 第49-50页 |
| 4.4 VxWorks 系统多任务嵌入式程序设计 | 第50-51页 |
| 4.4.1 VxWorks 及风河开发软件 | 第50页 |
| 4.4.2 多任务程序设计 | 第50-51页 |
| 4.5 数据采集板 FPGA 逻辑设计 | 第51-54页 |
| 4.5.1 高精度光栅尺数据采集处理模块 | 第51-53页 |
| 4.5.2 电感传感器数据接收模块 | 第53-54页 |
| 4.5.3 VME 数据总线 P2 口数据上传 | 第54页 |
| 4.6 多轴控制板卡软件设计 | 第54-60页 |
| 4.6.1 DSP 程序设计 | 第55-56页 |
| 4.6.2 控制板卡的 FPGA 逻辑设计 | 第56-60页 |
| 4.7 本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 实验 | 第61-70页 |
| 5.1 引言 | 第61页 |
| 5.2 实验平台介绍 | 第61页 |
| 5.3 掩模台宏动阶跃响应实验 | 第61-62页 |
| 5.4 掩模台宏动正弦跟随实验 | 第62-63页 |
| 5.5 掩模台的扫描运动实验 | 第63-69页 |
| 5.6 本章小结 | 第69-70页 |
| 结论 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
